In qualità di produttori professionali, vorremmo fornirvi componenti a semiconduttore. Semicorex è il tuo partner per migliorare la lavorazione dei semiconduttori. I nostri rivestimenti in carburo di silicio sono densi, resistenti alle alte temperature e agli agenti chimici e vengono spesso utilizzati nell'intero ciclo di produzione dei semiconduttori, compresa la lavorazione di wafer e wafer semiconduttori e la fabbricazione di semiconduttori.
I componenti rivestiti in SiC di elevata purezza sono fondamentali per i processi nel semiconduttore. La nostra offerta spazia dai materiali di consumo in grafite per zone calde di crescita dei cristalli (riscaldatori, suscettori del crogiolo, isolamento), ai componenti in grafite ad alta precisione per apparecchiature di lavorazione dei wafer, come i suscettori in grafite rivestiti in carburo di silicio per Epitassia o MOCVD.
Vantaggi per i processi dei semiconduttori
Le fasi di deposizione di film sottili come l'epitassia o MOCVD, o il trattamento dei wafer come l'incisione o l'impianto ionico, devono sopportare temperature elevate e una pulizia chimica aggressiva. Semicorex fornisce una struttura in grafite rivestita in carburo di silicio (SiC) di elevata purezza che offre una resistenza al calore superiore e una resistenza chimica duratura, uniforme termica per uno spessore e una resistenza costanti dello strato Epi.
Coperchi delle camere →
I coperchi delle camere utilizzati nella crescita dei cristalli e nella lavorazione dei wafer devono resistere alle alte temperature e alla pulizia chimica aggressiva.
Effetto finale →
L'effettore finale è la mano del robot che sposta i wafer semiconduttori tra le posizioni nelle apparecchiature e nei trasportatori per la lavorazione dei wafer.
Anelli di ingresso →
Anello di ingresso del gas rivestito in SiC mediante attrezzatura MOCVD. La crescita del composto ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi.
Anello di messa a fuoco →
Semicorex fornisce un anello di messa a fuoco rivestito in carburo di silicio che è davvero stabile per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva.
Mandrino per wafer →
I mandrini per wafer sottovuoto in ceramica ultrapiatta Semicorex sono rivestiti in SiC ad elevata purezza nel processo di movimentazione dei wafer.
La macinatura del bordo del wafer Semicorex è un disco ceramico realizzato in allumina bianca di alta purezza, progettata per la macinazione del bordo del wafer nella produzione di semiconduttori. Scegliere Semicorex garantisce una qualità del materiale superiore, ingegneria di precisione e prestazioni affidabili che supportano gli ambienti di elaborazione del wafer più esigenti.*
Per saperne di piùInvia richiestaI mandrini di allumina porosi di semicorex sono un dispositivo di aspirazione per allumina nera microporosa con porosità del 35-40%, progettata per fornire aspirazione uniforme e maneggevolezza dei wafer sicuri nella produzione di semiconduttori. Scegliere Semicorex significa ingegneria ceramica affidabile, qualità del materiale superiore e prestazioni coerenti che salvaguardano la resa e la stabilità del processo.*
Per saperne di piùInvia richiestaI manichini del vuoto di semicorex AL2O3 sono un appuntamento di adsorbimento in ceramica microporosa realizzato in allumina nera con una porosità del 35-40%, specificamente progettata per la manipolazione dei wafer in applicazioni a semiconduttore. Scegliere Semicorex significa beneficiare della tecnologia ceramica avanzata, dell'ingegneria di precisione e della qualità del prodotto affidabile che garantiscono prestazioni stabili in ambienti di camera puliti esigenti.*
Per saperne di piùInvia richiestaIl braccio in ceramica di allumina Semicorex è una componente robotica di alta purezza progettata per una manipolazione di wafer precisa e senza contaminazione nella produzione di semiconduttori. Scegliere Semicorex garantisce non solo la qualità del materiale ceramico di allumina avanzata, ma anche l'artigianato di precisione che garantisce la durata, la pulizia e l'affidabilità negli ambienti di processo critici.*
Per saperne di piùInvia richiestaGli anelli di ingresso SIC Semicorex sono componenti in carburo di silicio ad alte prestazioni progettati per apparecchiature di elaborazione a semiconduttore, offrendo una stabilità termica eccezionale, resistenza chimica e lavorazione di precisione. Scegliere semicorex significa ottenere accesso a soluzioni affidabili, personalizzate e senza contaminazione fidate dai principali produttori di semiconduttori.*
Per saperne di piùInvia richiestaIl braccio SIC Semicorex è un componente in carburo di silicio di alta purezza progettato per la gestione e il posizionamento dei wafer precisi nella produzione di semiconduttori. Scegliere Semicorex garantisce affidabilità dei materiali senza pari, resistenza chimica e ingegneria di precisione che supportano i processi di semiconduttore più impegnativi.*
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