In qualità di produttori professionali, vorremmo fornirvi componenti a semiconduttore. Semicorex è il tuo partner per migliorare la lavorazione dei semiconduttori. I nostri rivestimenti in carburo di silicio sono densi, resistenti alle alte temperature e agli agenti chimici e vengono spesso utilizzati nell'intero ciclo di produzione dei semiconduttori, compresa la lavorazione di wafer e wafer semiconduttori e la fabbricazione di semiconduttori.
I componenti rivestiti in SiC di elevata purezza sono fondamentali per i processi nel semiconduttore. La nostra offerta spazia dai materiali di consumo in grafite per zone calde di crescita dei cristalli (riscaldatori, suscettori del crogiolo, isolamento), ai componenti in grafite ad alta precisione per apparecchiature di lavorazione dei wafer, come i suscettori in grafite rivestiti in carburo di silicio per Epitassia o MOCVD.
Vantaggi per i processi dei semiconduttori
Le fasi di deposizione di film sottili come l'epitassia o MOCVD, o il trattamento dei wafer come l'incisione o l'impianto ionico, devono sopportare temperature elevate e una pulizia chimica aggressiva. Semicorex fornisce una struttura in grafite rivestita in carburo di silicio (SiC) di elevata purezza che offre una resistenza al calore superiore e una resistenza chimica duratura, uniforme termica per uno spessore e una resistenza costanti dello strato Epi.
Coperchi delle camere →
I coperchi delle camere utilizzati nella crescita dei cristalli e nella lavorazione dei wafer devono resistere alle alte temperature e alla pulizia chimica aggressiva.
Effetto finale →
L'effettore finale è la mano del robot che sposta i wafer semiconduttori tra le posizioni nelle apparecchiature e nei trasportatori per la lavorazione dei wafer.
Anelli di ingresso →
Anello di ingresso del gas rivestito in SiC mediante attrezzatura MOCVD. La crescita del composto ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi.
Anello di messa a fuoco →
Semicorex fornisce un anello di messa a fuoco rivestito in carburo di silicio che è davvero stabile per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva.
Mandrino per wafer →
I mandrini per wafer sottovuoto in ceramica ultrapiatta Semicorex sono rivestiti in SiC ad elevata purezza nel processo di movimentazione dei wafer.
Gli elettrodi di silicio monocristallino Semicorex fungono sia da elettrodi che da percorsi del gas di incisione durante il processo di incisione del wafer. Gli elettrodi di silicio monocristallino Semicorex sono componenti indispensabili in silicio progettati appositamente per la produzione di incisione di semiconduttori di fascia alta, che possono aiutare a migliorare la precisione e l'uniformità dell'incisione.
Per saperne di piùInvia richiestaLe pale a sbalzo Semicorex sono componenti di precisione progettati per applicazioni di lavorazione di semiconduttori ad alta temperatura e elevata purezza. Semicorex fornisce palette a sbalzo di alta qualità per soddisfare i requisiti esigenti dei sistemi avanzati di gestione dei wafer e di gestione termica.*
Per saperne di piùInvia richiestaGli anelli di incisione in silicio Semicorex sono componenti di incisione di precisione a forma di anello realizzati in silicio monocristallino di elevata purezza. Sono le parti essenziali in silicio utilizzate nelle apparecchiature di incisione al plasma, progettate appositamente per creare condizioni ottimali di incisione al plasma. Scegli Semicorex, scegli gli anelli mordenti in silicone di alta qualità.
Per saperne di piùInvia richiestaI tubi del forno Semicorex per LPCVD sono componenti tubolari realizzati con precisione con rivestimento SiC CVD uniforme e denso. Appositamente progettati per il processo avanzato di deposizione di vapore chimico a bassa pressione, i tubi del forno Semicorex per LPCVD sono in grado di fornire ambienti di reazione adatti ad alta temperatura e bassa pressione per migliorare la qualità e la resa della deposizione di film sottile di wafer.
Per saperne di piùInvia richiestaI tubi del forno rivestiti in SiC Semicorex CVD sono componenti tubolari di fascia alta realizzati appositamente per la lavorazione dei semiconduttori ad alta temperatura, come l'ossidazione, la diffusione e la ricottura di wafer semiconduttori. Sfruttando tecnologie di lavorazione avanzate e una matura esperienza di produzione, Semicorex si impegna a fornire ai nostri stimati clienti tubi per forni rivestiti in SiC CVD lavorati con precisione con una qualità leader di mercato.
Per saperne di piùInvia richiestaI tubi di processo SiC Semicorex sono realizzati in ceramica SiC ad elevata purezza con rivestimento SiC CVD, sono adatti per forni orizzontali in semiconduttori. Considerando la qualità del prodotto e il servizio post-vendita, Semicorex è quello che vuole fare affari di alta qualità con i nostri clienti in tutto il mondo.*
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