Semicorex è il tuo partner per migliorare la lavorazione dei semiconduttori. I nostri rivestimenti in carburo di silicio sono densi, resistenti alle alte temperature e agli agenti chimici e vengono spesso utilizzati nell'intero ciclo di produzione dei semiconduttori, compresa la lavorazione di wafer e wafer semiconduttori e la fabbricazione di semiconduttori.
I componenti ceramici SiC ad elevata purezza sono fondamentali per i processi nel semiconduttore. La nostra offerta spazia da parti di consumo per apparecchiature di lavorazione dei wafer, come barche per wafer in carburo di silicio, pale a sbalzo, tubi, ecc. per epitassia o MOCVD.
Vantaggi per i processi dei semiconduttori
Le fasi di deposizione di film sottili come l'epitassia o MOCVD, o il trattamento dei wafer come l'incisione o l'impianto ionico, devono sopportare temperature elevate e una pulizia chimica aggressiva. Semicorex fornisce una struttura in carburo di silicio (SiC) di elevata purezza che offre una resistenza al calore superiore e una resistenza chimica duratura, uniforme termica per uno spessore e una resistenza costanti dello strato Epi.
Coperchi delle camere →
I coperchi delle camere utilizzati nella crescita dei cristalli e nella lavorazione dei wafer devono resistere alle alte temperature e alla pulizia chimica aggressiva.
Pagaia a sbalzo →
La pala a sbalzo è un componente cruciale utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori, in particolare nei forni a diffusione o LPCVD durante processi come diffusione e RTP.
Tubo di processo →
Process Tube è un componente cruciale, progettato specificamente in varie applicazioni di elaborazione di semiconduttori come RTP e diffusione.
Barche Wafer →
Wafer Boat viene utilizzato nella lavorazione dei semiconduttori, è stato meticolosamente progettato per garantire che i delicati wafer siano tenuti al sicuro durante le fasi critiche della produzione.
Anelli di ingresso →
Anello di ingresso del gas rivestito in SiC mediante attrezzatura MOCVD. La crescita del composto ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi.
Anello di messa a fuoco →
Semicorex fornisce un anello di messa a fuoco rivestito in carburo di silicio che è davvero stabile per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva.
Mandrino per wafer →
I mandrini per wafer sottovuoto in ceramica ultrapiatta Semicorex sono rivestiti in SiC ad elevata purezza nel processo di movimentazione dei wafer.
Semicorex dispone anche di prodotti ceramici in allumina (Al2O3), nitruro di silicio (Si3N4), nitruro di alluminio (AIN), zirconio (ZrO2), ceramica composita, ecc.
Le piastre di nitruro di silicio Semicorex sono substrati ceramici ad alta resistenza progettati per offrire prestazioni termiche eccezionali e affidabilità meccanica per i moduli di potenza avanzati. Scegliere Semicorex significa beneficiare della produzione di precisione, del rigoroso controllo della qualità e delle competenze di ingegneria dei materiali che garantiscono prestazioni costanti anche nelle applicazioni più esigenti.*
Per saperne di piùInvia richiestaLe barche verticali SIC Semicorex sono trasportatori di wafer ad alte prestazioni progettati per l'uso nei processi di fornace verticale, offrendo una stabilità, pulizia e durata eccezionali. Scegli Semicorex per qualità intransigente, produzione di precisione e comprovata affidabilità nella lavorazione termica a semiconduttore.*
Per saperne di piùInvia richiestaI tubi SIC Semicorex sono componenti ceramici in carburo di silicio ad alte prestazioni progettati per applicazioni di forno a semiconduttore, fornendo una stabilità termica, meccanica e chimica eccezionale in ambienti di processo impegnativi. Scegli Semicorex per tubi SIC ingegnerizzati di precisione che garantiscono una qualità costante, una durata di servizio estesa e la massima efficienza del forno.*
Per saperne di piùInvia richiestaLe barche per fornaci per camera orizzontale a semicorex sono un vettore in carburo di silicio ad alta purezza progettato per la tenuta di wafer sicura durante la lavorazione del forno orizzontale ad alta temperatura. Scegliere Semicorex significa beneficiare di ingegneria precisa, durata eccezionale e prestazioni termiche superiori per una produzione costante e ad alto rendimento.*
Per saperne di piùInvia richiestaGli specchi di scansione in carburo di silicio Semicorex offrono precisione, velocità e stabilità eccezionali per le applicazioni di scansione ottica più esigenti. Scegli Semicorex per competenze senza eguali in ingegneria SIC, offrendo geometrie su misura, rivestimenti premium e comprovata affidabilità nei sistemi ottici ad alte prestazioni.
Per saperne di piùInvia richiestaI specchi SIC di semicorex sono componenti ottici in carburo di silicio ad alte prestazioni progettati per un'estrema precisione in applicazioni come sistemi di scansione ottica, litografia e telescopi a base di spazio. Scegli Semicorex per la nostra competenza di produzione avanzata, progetti personalizzabili e finiture superficiali eccezionali che garantiscono stabilità, riflettività e affidabilità senza pari negli ambienti più impegnativi.*
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