Semicorex è il tuo partner per migliorare la lavorazione dei semiconduttori. I nostri rivestimenti in carburo di silicio sono densi, resistenti alle alte temperature e agli agenti chimici e vengono spesso utilizzati nell'intero ciclo di produzione dei semiconduttori, compresa la lavorazione di wafer e wafer semiconduttori e la fabbricazione di semiconduttori.
I componenti ceramici SiC ad elevata purezza sono fondamentali per i processi nel semiconduttore. La nostra offerta spazia da parti di consumo per apparecchiature di lavorazione dei wafer, come barche per wafer in carburo di silicio, pale a sbalzo, tubi, ecc. per epitassia o MOCVD.
Vantaggi per i processi dei semiconduttori
Le fasi di deposizione di film sottili come l'epitassia o MOCVD, o il trattamento dei wafer come l'incisione o l'impianto ionico, devono sopportare temperature elevate e una pulizia chimica aggressiva. Semicorex fornisce una struttura in carburo di silicio (SiC) di elevata purezza che offre una resistenza al calore superiore e una resistenza chimica duratura, uniforme termica per uno spessore e una resistenza costanti dello strato Epi.
Coperchi delle camere →
I coperchi delle camere utilizzati nella crescita dei cristalli e nella lavorazione dei wafer devono resistere alle alte temperature e alla pulizia chimica aggressiva.
Pagaia a sbalzo →
La pala a sbalzo è un componente cruciale utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori, in particolare nei forni a diffusione o LPCVD durante processi come diffusione e RTP.
Tubo di processo →
Process Tube è un componente cruciale, progettato specificamente in varie applicazioni di elaborazione di semiconduttori come RTP e diffusione.
Barche Wafer →
Wafer Boat viene utilizzato nella lavorazione dei semiconduttori, è stato meticolosamente progettato per garantire che i delicati wafer siano tenuti al sicuro durante le fasi critiche della produzione.
Anelli di ingresso →
Anello di ingresso del gas rivestito in SiC mediante attrezzatura MOCVD. La crescita del composto ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi.
Anello di messa a fuoco →
Semicorex fornisce un anello di messa a fuoco rivestito in carburo di silicio che è davvero stabile per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva.
Mandrino per wafer →
I mandrini per wafer sottovuoto in ceramica ultrapiatta Semicorex sono rivestiti in SiC ad elevata purezza nel processo di movimentazione dei wafer.
Semicorex dispone anche di prodotti ceramici in allumina (Al2O3), nitruro di silicio (Si3N4), nitruro di alluminio (AIN), zirconio (ZrO2), ceramica composita, ecc.
I riscaldatori Semicorex ALN sono elementi di riscaldamento a base di ceramica avanzati progettati per applicazioni termiche ad alte prestazioni. Questi riscaldatori offrono un'eccezionale conducibilità termica, isolamento elettrico e resistenza allo stress chimico e meccanico, rendendoli ideali per esigere applicazioni industriali e scientifiche. I riscaldatori di Aln forniscono riscaldamento preciso e uniforme, garantendo una gestione termica efficiente in ambienti che richiedono elevata affidabilità e durata.*
Per saperne di piùInvia richiestaLe barche in carburo di silicio Semicorex sono portatori di wafer ad alte prestazioni progettati per i processi di ossidazione e diffusione dei semiconduttori. Questi componenti ingegnerizzati di precisione forniscono un ambiente stabile e di alta purezza per i wafer di silicio all'interno dei tubi del forno, garantendo un'affidabilità ed efficienza ottimale del processo. *
Per saperne di piùInvia richiestaLe pastiglie in ceramica in carbonio Semicorex offrono una resistenza eccezionale, una resistenza al calore e prestazioni di frenata affidabili in tutte le condizioni, rendendole la scelta ideale per veicoli ad alte prestazioni, sport motoristici, aviazione e motociclette. *
Per saperne di piùInvia richiestaI freni Semicorex C/SIC offrono una soluzione di frenatura leggera e ad alte prestazioni con eccezionale resistenza al calore, durata e prestazioni coerenti, rendendoli ideali per veicoli e applicazioni aerospaziali.*
Per saperne di piùInvia richiestaLa membrana ceramica SIC Semicorex è una soluzione ideale per le industrie che richiedono una filtrazione efficiente, durevole e precisa. Scegliere Semicorex significa collaborare con un esperto di fiducia impegnato a fornire tecnologia a membrana ceramica di alta qualità, soluzioni innovative e eccellente assistenza clienti.*
Per saperne di piùInvia richiestaLe membrane SIC Semicorex sono soluzioni di filtrazione ceramica ad alte prestazioni progettate per soddisfare le applicazioni industriali più impegnative con durata, resistenza chimica e stabilità termica eccezionali. Come leader nella tecnologia dei materiali avanzati, Semicorex continua a spingere i confini dell'innovazione, offrendo membrane SIC di qualità superiore che stabilivano nuovi standard del settore.*
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