La ceramica al carburo di silicio (SiC) è un materiale ceramico avanzato contenente silicio e carbonio. I grani di carburo di silicio possono essere legati insieme mediante sinterizzazione per formare ceramiche molto dure. Semicorex fornisce ceramiche personalizzate in carburo di silicio secondo le vostre esigenze.
Applicazioni
Con la ceramica al carburo di silicio le proprietà del materiale rimangono costanti fino a temperature superiori a 1.400°C. L’elevato modulo di Young > 400 GPa garantisce un’eccellente stabilità dimensionale.
Un'applicazione tipica dei componenti in carburo di silicio è la tecnologia di tenuta dinamica che utilizza cuscinetti radenti e tenute meccaniche, ad esempio nelle pompe e nei sistemi di azionamento.
Grazie alle proprietà avanzate, le ceramiche al carburo di silicio sono ideali anche per l'uso nell'industria dei semiconduttori.
Barche di wafer
Semicorex Wafer Boat è realizzato in ceramica sinterizzata al carburo di silicio, che ha una buona resistenza alla corrosione e un'eccellente resistenza alle alte temperature e agli shock termici. Le ceramiche avanzate offrono un'eccellente resistenza termica e durata del plasma, mitigando al contempo particelle e contaminanti per i supporti wafer ad alta capacità.
Carburo di silicio sinterizzato di reazione
Rispetto ad altri processi di sinterizzazione, la variazione dimensionale della sinterizzazione di reazione durante il processo di densificazione è piccola ed è possibile produrre prodotti con dimensioni precise. Tuttavia, la presenza di una grande quantità di SiC nel corpo sinterizzato peggiora le prestazioni alle alte temperature delle ceramiche SiC sinterizzate per reazione.
Carburo di silicio sinterizzato senza pressione
Il carburo di silicio sinterizzato senza pressione (SSiC) è una ceramica ad alte prestazioni particolarmente leggera e allo stesso tempo dura. SSiC è caratterizzato da un'elevata resistenza, che rimane quasi costante anche a temperature estreme.
Carburo di silicio ricristallizzato
Il carburo di silicio ricristallizzato (RSiC) è un materiale di nuova generazione formato miscelando polvere grossolana di carburo di silicio ad elevata purezza e polvere fine di carburo di silicio ad alta attività e, dopo la stuccatura, sinterizzazione sotto vuoto a 2450 ° C per ricristallizzare.
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Carburo di silicio sinterizzato a reazione |
Carburo di silicio sinterizzato senza pressione |
Carburo di silicio ricristallizzato |
Proprietà tipiche |
Unità |
Valori |
|
|
Densità apparente |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Resistenza alla flessione |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
Resistenza alla compressione |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
>600 |
Durezza |
Pulsante |
2700 |
2800 |
/ |
Tenacia di rottura |
MPa·m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Conduttività termica |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coefficiente di espansione termica |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Calore specifico |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Temperatura massima nell'aria |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modulo elastico |
GP |
360 |
410 |
240 |
Resistenza alla flessione |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
Semicorex fornisce wafer boat, piedistalli e porta wafer personalizzati per configurazioni verticali/a colonna e orizzontali. Siamo produttori e fornitori di pellicole di rivestimento in carburo di silicio da molti anni. Il nostro Wafer Boat per Semiconductor Process ha un buon vantaggio di prezzo e copre la maggior parte dei mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.
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