Semicorex è il tuo partner per migliorare la lavorazione dei semiconduttori. I nostri rivestimenti in carburo di silicio sono densi, resistenti alle alte temperature e agli agenti chimici e vengono spesso utilizzati nell'intero ciclo di produzione dei semiconduttori, compresa la lavorazione di wafer e wafer semiconduttori e la fabbricazione di semiconduttori.
I componenti ceramici SiC ad elevata purezza sono fondamentali per i processi nel semiconduttore. La nostra offerta spazia da parti di consumo per apparecchiature di lavorazione dei wafer, come barche per wafer in carburo di silicio, pale a sbalzo, tubi, ecc. per epitassia o MOCVD.
Vantaggi per i processi dei semiconduttori
Le fasi di deposizione di film sottili come l'epitassia o MOCVD, o il trattamento dei wafer come l'incisione o l'impianto ionico, devono sopportare temperature elevate e una pulizia chimica aggressiva. Semicorex fornisce una struttura in carburo di silicio (SiC) di elevata purezza che offre una resistenza al calore superiore e una resistenza chimica duratura, uniforme termica per uno spessore e una resistenza costanti dello strato Epi.
Coperchi delle camere →
I coperchi delle camere utilizzati nella crescita dei cristalli e nella lavorazione dei wafer devono resistere alle alte temperature e alla pulizia chimica aggressiva.
Pagaia a sbalzo →
La pala a sbalzo è un componente cruciale utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori, in particolare nei forni a diffusione o LPCVD durante processi come diffusione e RTP.
Tubo di processo →
Process Tube è un componente cruciale, progettato specificamente in varie applicazioni di elaborazione di semiconduttori come RTP e diffusione.
Barche Wafer →
Wafer Boat viene utilizzato nella lavorazione dei semiconduttori, è stato meticolosamente progettato per garantire che i delicati wafer siano tenuti al sicuro durante le fasi critiche della produzione.
Anelli di ingresso →
Anello di ingresso del gas rivestito in SiC mediante attrezzatura MOCVD. La crescita del composto ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi.
Anello di messa a fuoco →
Semicorex fornisce un anello di messa a fuoco rivestito in carburo di silicio che è davvero stabile per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva.
Mandrino per wafer →
I mandrini per wafer sottovuoto in ceramica ultrapiatta Semicorex sono rivestiti in SiC ad elevata purezza nel processo di movimentazione dei wafer.
Semicorex dispone anche di prodotti ceramici in allumina (Al2O3), nitruro di silicio (Si3N4), nitruro di alluminio (AIN), zirconio (ZrO2), ceramica composita, ecc.
La membrana SIC Semicorex è una soluzione di filtrazione in ceramica ad alte prestazioni realizzata in carburo di silicio di alta purezza, progettata per impegnative applicazioni di filtrazione industriale. Scegli Semicorex per membrane SIC affidabili, durevoli ed efficienti che offrono prestazioni eccezionali e valore a lungo termine anche negli ambienti più esigenti.*
Per saperne di piùInvia richiestaI manichini del vuoto Semicorex sono la soluzione perfetta per la gestione dei wafer nelle industrie a semiconduttore e di precisione. Con una varietà di opzioni di materiale di base, personalizzazioni della piastra in ceramica e controllo preciso della piattalità, i nostri mandrini del vuoto assicurano una stabilità affidabile del wafer e risultati di processo eccellenti. Progettati per soddisfare le rigorose esigenze della moderna produzione di semiconduttori, questi mandrini offrono prestazioni senza pari, garantendo che i processi rimangano efficienti ed economici.*
Per saperne di piùInvia richiestaSemicorex Poroso SIC Vacuum Chuck è progettato per una maneggevolezza di wafer precisa e affidabile, offrendo opzioni di materiale personalizzabile per soddisfare una vasta gamma di esigenze di elaborazione dei semiconduttori. Scegli Semicorex per il suo impegno per soluzioni durevoli e di alta qualità che offrono prestazioni ed efficienza ottimali in ogni applicazione.*
Per saperne di piùInvia richiestaSIC SIC Microporoso Semicorex è un mandrino a vuoto ad alta precisione progettato per la gestione sicura dei wafer nei processi di semiconduttore. Scegli Semicorex per le nostre soluzioni personalizzabili, la selezione dei materiali superiori e l'impegno per la precisione, garantendo prestazioni ottimali nelle esigenze di elaborazione del wafer.*
Per saperne di piùInvia richiestaSemicorex Porous Ceramic Chuck (Vacuum Chuck) è uno strumento ad alta precisione progettato per trattenere in modo sicuro i wafer durante i processi di produzione dei semiconduttori. Scegliendo Semicorex, beneficerai di una soluzione che offre prestazioni eccezionali, durata e opzioni di personalizzazione, garantendo una maggiore efficienza produttiva e standard di qualità costanti.*
Per saperne di piùInvia richiestaI mandrini sottovuoto in allumina Semicorex sono componenti di precisione progettati per trattenere in modo sicuro wafer o substrati durante processi critici di produzione di semiconduttori e di precisione. Grazie all'impegno di Semicorex verso materiali di alta qualità e tecniche di produzione all'avanguardia, i nostri mandrini sottovuoto in allumina forniscono affidabilità, precisione e prestazioni senza pari per le applicazioni più impegnative.*
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