Come produttori professionali, vorremmo fornirvi un riscaldatore per wafer. I riscaldatori per le apparecchiature di deposizione richiedono una distribuzione termica uniforme su tutto il wafer, insieme a elevata purezza e resistenza al plasma. Semicorex fornisce applicazioni di riscaldamento rivestite in carburo di silicio CVD compresi riscaldatori e crogioli, i nostri componenti di riscaldamento avanzati sono adatti per processi ALD-CVD-PVD in ambienti di deposizione sotto vuoto.
Il rivestimento CVD SiC del riscaldatore per rivestimento SiC Semicorex offre prestazioni superiori nella protezione degli elementi riscaldanti dagli ambienti difficili, corrosivi e reattivi spesso incontrati in processi come la deposizione di vapori chimici metallo-organici (MOCVD) e la crescita epitassiale.**
Per saperne di piùInvia richiestaIl riscaldatore MOCVD di Semicorex è un componente altamente avanzato e meticolosamente progettato che offre numerosi vantaggi, tra cui eccezionale purezza chimica, efficienza termica, conduttività elettrica, elevata emissività, resistenza alla corrosione, inossidabilità e resistenza meccanica.**
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