I coperchi delle camere vengono utilizzati per creare un ambiente pulito, inerte e protetto nelle camere di deposizione, quindi sono esposti al plasma e alle alte temperature durante i processi di deposizione o incisione. I coperchi delle camere Semicorex sono componenti ceramici durevoli rivestiti con carburo di silicio utilizzando il metodo di deposizione chimica da vapore (CVD), ottimi per resistere a questi ambienti difficili.