I coperchi delle camere vengono utilizzati per creare un ambiente pulito, inerte e protetto nelle camere di deposizione, quindi sono esposti al plasma e alle alte temperature durante i processi di deposizione o incisione. I coperchi delle camere Semicorex sono componenti ceramici durevoli rivestiti con carburo di silicio utilizzando il metodo di deposizione chimica da vapore (CVD), ottimi per resistere a questi ambienti difficili.
Il coperchio SIC Semicorex è un componente in carburo di silicio di alta purezza progettato per ambienti di elaborazione a semiconduttore estremo. Scegliere Semicorex significa garantire una qualità del materiale senza eguali, ingegneria di precisione e soluzioni personalizzate fidate dai principali produttori di semiconduttori in tutto il mondo.*
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