Suscettore pancake, una forma rotonda del supporto wafer utilizzato nella lavorazione dei semiconduttori.
L'epitassia è un passaggio cruciale nella lavorazione dei semiconduttori che fa crescere lo strato epitassiale sui wafer semiconduttori, in cui i wafer vengono trasportati sui suscettori di grafite. Le qualità dei suscettori di grafite sono fattori chiave per la qualità degli epi-wafer.
Suscettori in grafite con rivestimento in carburo di silicio
Semicorex fornisce suscettori e componenti per tutti i reattori epitassia, inclusisuscettori a bottee suscettori del pancake. Utilizziamo grafite ad elevata purezza e rivestimento CVD SiC.