L'anello di messa a fuoco o gli anelli di bordo sono progettati per migliorare l'uniformità dell'incisione attorno al bordo o al perimetro del wafer.
Gli anelli di messa a fuoco Semicorex sono rivestiti in carburo di silicio mediante deposizione chimica in fase di vapore (CVD) forniscono una resistenza al calore superiore, uniformità termica uniforme per uno spessore e una resistenza dello strato epi costante e una resistenza chimica duratura, che sono costruiti per resistere agli ambienti estremi nel processo di incisione al plasma o a secco .
Gli anelli di messa a fuoco durevoli Semicorex per la lavorazione dei semiconduttori sono progettati per resistere agli ambienti estremi delle camere di incisione al plasma utilizzate nella lavorazione dei semiconduttori. I nostri anelli di messa a fuoco sono realizzati in grafite di elevata purezza rivestita con un rivestimento in carburo di silicio (SiC) denso e resistente all'usura. Il rivestimento SiC ha elevate proprietà di resistenza alla corrosione e al calore, nonché un'eccellente conduttività termica. Applichiamo SiC in strati sottili sulla grafite utilizzando il processo di deposizione chimica da vapore (CVD) per migliorare la durata dei nostri anelli di messa a fuoco.
Per saperne di piùInvia richiestaL'anello di messa a fuoco per la lavorazione al plasma Semicorex è appositamente progettato per soddisfare le elevate esigenze di lavorazione dell'incisione al plasma nell'industria dei semiconduttori. I nostri componenti rivestiti in carburo di silicio avanzati e di elevata purezza sono costruiti per resistere ad ambienti estremi e sono adatti per l'uso in varie applicazioni, tra cui strati di carburo di silicio e semiconduttori epitassici.
Per saperne di piùInvia richiestaGli anelli di messa a fuoco SiC Semicorex avanzati e ad alta purezza sono costruiti per resistere agli ambienti estremi nelle camere di incisione al plasma (o incisione a secco). Ci concentriamo sulle industrie dei semiconduttori come strati di carburo di silicio e semiconduttori epitassia. I nostri prodotti hanno un buon vantaggio di prezzo e coprono molti dei mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.
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