Semicorex è il tuo partner per migliorare la lavorazione dei semiconduttori. I nostri rivestimenti in carburo di silicio sono densi, resistenti alle alte temperature e agli agenti chimici e vengono spesso utilizzati nell'intero ciclo di produzione dei semiconduttori, compresa la lavorazione di wafer e wafer semiconduttori e la fabbricazione di semiconduttori.
I componenti ceramici SiC di elevata purezza sono fondamentali per i processi nel semiconduttore. La nostra offerta spazia da parti di consumo per apparecchiature di lavorazione dei wafer, come barche per wafer in carburo di silicio, pale a sbalzo, tubi, ecc. per epitassia o MOCVD.
Vantaggi per i processi dei semiconduttori
Le fasi di deposizione di film sottili come l'epitassia o MOCVD, o il trattamento dei wafer come l'incisione o l'impianto ionico, devono sopportare temperature elevate e una pulizia chimica aggressiva. Semicorex fornisce una struttura in carburo di silicio (SiC) di elevata purezza che offre una resistenza al calore superiore e una resistenza chimica duratura, uniforme termica per uno spessore e una resistenza costanti dello strato Epi.
Coperchi delle camere →
I coperchi delle camere utilizzati nella crescita dei cristalli e nella lavorazione dei wafer devono resistere alle alte temperature e alla pulizia chimica aggressiva.
Pagaia a sbalzo →
La pala a sbalzo è un componente cruciale utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori, in particolare nei forni a diffusione o LPCVD durante processi come diffusione e RTP.
Tubo di processo →
Process Tube è un componente cruciale, progettato specificamente in varie applicazioni di elaborazione di semiconduttori come RTP e diffusione.
Barche Wafer →
Wafer Boat viene utilizzato nella lavorazione dei semiconduttori, è stato meticolosamente progettato per garantire che i delicati wafer siano tenuti al sicuro durante le fasi critiche della produzione.
Anelli di ingresso →
Anello di ingresso del gas rivestito in SiC mediante attrezzatura MOCVD. La crescita del composto ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi.
Anello di messa a fuoco →
Semicorex fornisce un anello di messa a fuoco rivestito in carburo di silicio che è davvero stabile per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva.
Mandrino per wafer →
I mandrini per wafer sottovuoto in ceramica ultrapiatta Semicorex sono rivestiti in SiC ad elevata purezza nel processo di movimentazione dei wafer.
Semicorex dispone anche di prodotti ceramici in allumina (Al2O3), nitruro di silicio (Si3N4), nitruro di alluminio (AIN), zirconio (ZrO2), ceramica composita, ecc.
Gli anelli isolanti in nitruro di alluminio Semicorex sono componenti indispensabili nella produzione avanzata di semiconduttori, in particolare nei processi di trattamento termico ad alta frequenza. La loro combinazione unica di stabilità alle alte temperature, proprietà di tenuta superiori, eccezionale conduttività termica e durata intrinseca li rende essenziali per garantire un controllo preciso del processo, rendimenti elevati dei dispositivi e una durata prolungata delle apparecchiature nell'ambiente esigente della fabbricazione di semiconduttori. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di anelli isolanti in nitruro di alluminio ad alte prestazioni che fondono la qualità con l'efficienza dei costi.**
Per saperne di piùInvia richiestaI mandrini elettrostatici in nitruro di alluminio Semicorex offrono un'interessante combinazione di proprietà che li rendono ideali per le esigenti richieste della lavorazione dei wafer semiconduttori. La loro capacità di fornire un bloccaggio sicuro e uniforme dei wafer, un'eccellente gestione termica e resistenza agli ambienti di lavorazione difficili si traduce in prestazioni migliorate del dispositivo, rendimenti più elevati e costi di produzione ridotti. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di mandrini elettrostatici in nitruro di alluminio ad alte prestazioni che fondono la qualità con l'efficienza dei costi.**
Per saperne di piùInvia richiestaI mandrini di ispezione wafer SiC Semicorex sono elementi fondamentali per la produzione avanzata di semiconduttori, poiché soddisfano le crescenti richieste di precisione, pulizia e produttività. Le loro proprietà materiali superiori si traducono in vantaggi tangibili durante tutto il processo di fabbricazione dei wafer, contribuendo in definitiva a rendimenti più elevati, migliori prestazioni dei dispositivi e costi di produzione complessivi inferiori. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di mandrini di ispezione wafer SiC ad alte prestazioni che fondono la qualità con l'efficienza dei costi.**
Per saperne di piùInvia richiestaIl braccio robotico in ceramica di allumina Semicorex, noto anche come braccio robotico in ceramica per la movimentazione dei wafer o forcella per la movimentazione dei wafer in silicio ceramico, è un componente di apparecchiature a semiconduttore ad alte prestazioni. La sua progettazione tiene conto dei severi requisiti della produzione di semiconduttori. Grazie alla sua resistenza alle alte temperature, all'usura, alla stabilità chimica e alle eccellenti proprietà di isolamento elettrico, il braccio in ceramica di allumina svolge un ruolo insostituibile nell'industria globale della produzione di semiconduttori. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di bracci robotici in ceramica di allumina ad alte prestazioni che fondono la qualità con l'efficienza dei costi.**
Per saperne di piùInvia richiestaLe proprietà avanzate del materiale del tubo del forno a diffusione Semicorex SiC, tra cui elevata resistenza alla flessione, eccezionale resistenza all'ossidazione e alla corrosione, elevata resistenza all'usura, basso coefficiente di attrito, proprietà meccaniche superiori alle alte temperature e purezza ultraelevata, lo rendono indispensabile nell'industria dei semiconduttori , in particolare per applicazioni in forni a diffusione. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di tubi per forni a diffusione SiC ad alte prestazioni che fondono la qualità con l'efficienza dei costi.**
Per saperne di piùInvia richiestaCon proprietà del materiale di alta qualità, Semicorex SiC Diffusion Boat rappresenta una funzionalità ottimale in un ampio spettro di parametri operativi: durezza, resilienza e resistenza termica e chimica, ecc. Questa scelta del materiale è fondamentale per ridurre i rischi di contaminazione, proteggere i wafer e resistere al condizioni impegnative presenti nei processi di fabbricazione dei semiconduttori. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di barche di diffusione SiC ad alte prestazioni che fondono la qualità con l'efficienza dei costi.**
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