Cina Ceramica Produttori, Fornitori, Fabbrica

Semicorex è il tuo partner per migliorare la lavorazione dei semiconduttori. I nostri rivestimenti in carburo di silicio sono densi, resistenti alle alte temperature e agli agenti chimici e vengono spesso utilizzati nell'intero ciclo di produzione dei semiconduttori, compresa la lavorazione di wafer e wafer semiconduttori e la fabbricazione di semiconduttori.

I componenti ceramici SiC di elevata purezza sono fondamentali per i processi nel semiconduttore. La nostra offerta spazia da parti di consumo per apparecchiature di lavorazione dei wafer, come barche per wafer in carburo di silicio, pale a sbalzo, tubi, ecc. per epitassia o MOCVD.

Vantaggi per i processi dei semiconduttori

Le fasi di deposizione di film sottili come l'epitassia o MOCVD, o il trattamento dei wafer come l'incisione o l'impianto ionico, devono sopportare temperature elevate e una pulizia chimica aggressiva. Semicorex fornisce una struttura in carburo di silicio (SiC) di elevata purezza che offre una resistenza al calore superiore e una resistenza chimica duratura, uniforme termica per uno spessore e una resistenza costanti dello strato Epi.

Coperchi delle camere →
I coperchi delle camere utilizzati nella crescita dei cristalli e nella lavorazione dei wafer devono resistere alle alte temperature e alla pulizia chimica aggressiva.

Pagaia a sbalzo →
La pala a sbalzo è un componente cruciale utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori, in particolare nei forni a diffusione o LPCVD durante processi come diffusione e RTP.

Tubo di processo →
Process Tube è un componente cruciale, progettato specificamente in varie applicazioni di elaborazione di semiconduttori come RTP e diffusione.

Barche Wafer →
Wafer Boat viene utilizzato nella lavorazione dei semiconduttori, è stato meticolosamente progettato per garantire che i delicati wafer siano tenuti al sicuro durante le fasi critiche della produzione.

Anelli di ingresso →
Anello di ingresso del gas rivestito in SiC mediante attrezzatura MOCVD. La crescita del composto ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi.

Anello di messa a fuoco →
Semicorex fornisce un anello di messa a fuoco rivestito in carburo di silicio che è davvero stabile per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva.

Mandrino per wafer →
I mandrini per wafer sottovuoto in ceramica ultrapiatta Semicorex sono rivestiti in SiC ad elevata purezza nel processo di movimentazione dei wafer.

Semicorex dispone anche di prodotti ceramici in allumina (Al2O3), nitruro di silicio (Si3N4), nitruro di alluminio (AIN), zirconio (ZrO2), ceramica composita, ecc.