Barche a cassetta in carburo di silicio

Semicorexbarchette a cassetta in carburo di siliciosono i componenti di trasporto indispensabili, con la loro struttura stabile e ad alta resistenza, tengono, trasferiscono e gestiscono in modo sicuro e preciso più wafer semiconduttori. Sono ampiamente utilizzati nei vari processi dei semiconduttori ad alta temperatura per garantire una distribuzione ottimizzata del flusso di calore e gas per risultati di elaborazione coerenti.

Materia prima accuratamente selezionata

Realizzate con precisione da polvere di carburo di silicio di grado semiconduttore mediante sinterizzazione ad alta temperatura, le cassette a cassetta in carburo di silicio Semicorex possiedono le seguenti eccellenti proprietà.

1. Purezza ultraelevata:Il contenuto di impurità del substrato è controllato affinché sia ​​inferiore a 100 PPM e il livello di impurità diCarburo di silicio CVDil rivestimento può raggiungere meno di 1 PPM.

2. Resistenza alla corrosione affidabile:La ceramica al carburo di silicio offre un'elevata resistenza alla corrosione ed è resistente alla corrosione della maggior parte degli acidi (come acido cloridrico, acido solforico e acido fluoridrico), alcali (come soda caustica), solventi e mezzi ossidanti.

3. Eccezionale capacità di gestione termica:Con un'eccezionale resistenza termica e un basso coefficiente di dilatazione termica, le barchette a cassetta in carburo di silicio possono mantenere le loro proprietà chimiche e resistenza meccanica anche quando sono esposte a condizioni operative prolungate a temperature elevate intorno a 1250 °C.

Struttura progettata con precisione

1. Struttura del telaio orizzontale:La struttura del telaio orizzontale delle cassette boat in carburo di silicio Semicorex le rende perfettamente adatte ai tubi orizzontali dei forni ad alta temperatura.

2. Tacche degli slot equidistanti:Dotate di numerose tacche di fessura uniformemente distanziate, le barchette a cassetta in carburo di silicio Semicorex possono tenere saldamente il wafer in posizione, prevenendo in modo significativo graffi, abrasioni e danni indesiderati derivanti dallo spostamento del wafer, garantendo così efficacemente la stabilità del processo dei semiconduttori e la resa del wafer.

3. Design multi-slot:Gli slot multipli progettati per trasportare più wafer consentono alle cassette boat in carburo di silicio Semicorex di migliorare la produttività della lavorazione a lotto singolo e l'efficienza produttiva complessiva.

4. Architettura aperta:Le cassette boat in carburo di silicio Semicorex sono dotate di un'architettura aperta e ponderata, che può aiutare a ottenere una distribuzione uniforme del gas e un contatto di reazione sufficiente, riducendo così efficacemente al minimo i risultati di processo incoerenti.