Riscaldatore wafer rivestito SiC

Il riscaldatore per wafer rivestito in SiC Semicorex può funzionare nel forno ad alta temperatura con oltre 3000 °C in atmosfera inerte, 2200 °C sotto vuoto. Il riscaldatore per wafer con rivestimento in SiC ad alta purezza offre una resistenza al calore superiore, uniformità termica uniforme per uno spessore e una resistenza costanti dello strato epi e una resistenza chimica duratura. Il sottile rivestimento in cristallo SiC fornisce una superficie pulita e liscia, fondamentale per la manipolazione poiché i wafer incontaminati entrano in contatto con il suscettore in molti punti dell'intera area.
In Semicorex, ci concentriamo sulla fornitura di riscaldatori per wafer rivestiti in SiC di alta qualità e convenienti, diamo la priorità alla soddisfazione del cliente e forniamo soluzioni convenienti. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di alta qualità e un servizio clienti eccezionale.

Parametri del riscaldatore wafer rivestito SiC

Caratteristiche del riscaldatore wafer rivestito SiC

- Grafite rivestita di SiC di elevata purezza
- Superiore resistenza al calore e uniformità termica
- Finissimo rivestimento in cristallo SiC per una superficie liscia
- Elevata durabilità contro la pulizia chimica
- Il materiale è progettato in modo che non si verifichino crepe e delaminazioni.