Riscaldatore per wafer rivestito in SiC

Il riscaldatore per wafer rivestito in SiC Semicorex può funzionare nel forno ad alta temperatura con oltre 3000 °C in atmosfera inerte, 2200 °C sotto vuoto. Il riscaldatore per wafer rivestito in SiC ad elevata purezza offre una resistenza al calore superiore, un'uniformità termica uniforme per uno spessore e una resistenza costanti dello strato Epi e una resistenza chimica duratura. Il rivestimento in cristalli SiC fini fornisce una superficie pulita e liscia, fondamentale per la manipolazione poiché i wafer incontaminati entrano in contatto con il suscettore in molti punti dell'intera area.
In Semicorex, ci concentriamo sulla fornitura di riscaldatori per wafer rivestiti in SiC di alta qualità ed economici, diamo priorità alla soddisfazione del cliente e forniamo soluzioni convenienti. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di alta qualità e un servizio clienti eccezionale.

Parametri del riscaldatore per wafer rivestito in SiC

Caratteristiche del riscaldatore per wafer rivestito in SiC

- Grafite rivestita in SiC ad elevata purezza
- Resistenza al calore e uniformità termica superiori
- Rivestimento in cristallo SiC fine per una superficie liscia
- Elevata resistenza alla pulizia chimica
- Il materiale è progettato in modo tale che non si verifichino crepe e delaminazioni.