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Riscaldatore di processo per wafer

Semicorex è un produttore e fornitore su larga scala di suscettore di grafite rivestito in carburo di silicio in Cina. Ci concentriamo sulle industrie dei semiconduttori come strati di carburo di silicio e semiconduttori epitassia. Il nostro riscaldatore per processi wafer ha un buon vantaggio in termini di prezzo e copre molti mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine.

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Descrizione del prodotto

Il riscaldatore di processo per wafer Semicorex è realizzato in grafite con rivestimento in carburo di silicio (SiC), il rivestimento viene applicato con un metodo CVD a gradi specifici di grafite ad alta densità, quindi può funzionare nel forno ad alta temperatura con oltre 3000 ° C in un'atmosfera inerte, 2200°C sotto vuoto.
Le proprietà speciali e la massa ridotta del materiale del Wafer Process Heater consentono velocità di riscaldamento elevate, distribuzione uniforme della temperatura e straordinaria precisione di controllo. Rispetto ad altri materiali, la superficie del carburo di silicio rimane piatta grazie alla sua bassa dilatazione termica anche se utilizzata con rapidi cambiamenti di temperatura. Le piastre riscaldanti sono molto adatte per processi impegnativi nei sistemi di lavorazione dei semiconduttori.
Noi di Semicorex ci concentriamo sulla fornitura di prodotti di alta qualità e convenienti ai nostri clienti. Il nostro riscaldatore per processi wafer ha un vantaggio in termini di prezzo e viene esportato in molti mercati europei e americani. Puntiamo a essere il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di qualità costante e un servizio clienti eccezionale.

Parametri del riscaldatore di processo wafer

Specifica tecnica	VET-M3
Densità apparente (g/cm3)	≥1,85
Contenuto di ceneri (PPM)	≤500
Durezza Shore	≥45
Resistenza specifica (μ.Ω.m)	≤12
Resistenza alla flessione (Mpa)	≥40
Resistenza alla compressione (Mpa)	≥70
Massimo. Granulometria (μm)	≤43
Coefficiente di dilatazione termica Mm/°C	≤4,4*10-6

Caratteristiche del riscaldatore di processo wafer

- Rivestimenti CVD SiC per migliorare la durata.
- La resistenza alle alte temperature, la resistenza alla corrosione, la lunga durata possono migliorare la qualità e la resa dei wafer.
- Ha un coefficiente di dilatazione termica estremamente basso, resistenza alle alte temperature, elevata resistenza all'usura, buon isolamento, buona stabilità chimica e penetrazione della luce visibile quasi viola (rossa).

Siamo in grado di fornire crogioli in grafite antiossidante e di lunga durata, stampi in grafite e tutte le parti del riscaldatore in grafite.