Effettore finale in ceramica

Ceramic End Effector è la mano del robot che sposta i wafer semiconduttori tra le posizioni nelle apparecchiature di lavorazione dei wafer e nei supporti. L'effettore finale deve essere dimensionalmente preciso e termicamente stabile, pur avendo una superficie liscia e resistente all'abrasione per maneggiare in sicurezza i wafer senza danneggiare i dispositivi o produrre contaminazione da particolato. Il nostro effettore finale in ceramica al carburo di silicio ad alta purezza offre una resistenza al calore superiore, uniformità termica uniforme per uno spessore e una resistenza costanti dello strato epi e una resistenza chimica duratura.

In Semicorex, ci concentriamo sulla fornitura di effettori finali in ceramica di alta qualità e convenienti, diamo la priorità alla soddisfazione del cliente e forniamo soluzioni convenienti. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di alta qualità e un servizio clienti eccezionale.

Parametri dell'effettore finale in ceramica

Caratteristiche dell'effettore finale in ceramica ad alta purezza

â Grafite rivestita di SiC di elevata purezza

â Resistenza al calore superiore e uniformità termica

â Fine rivestimento in cristallo SiC per una superficie liscia

â Elevata resistenza alla pulizia chimica

â Il materiale è progettato in modo che non si verifichino crepe e delaminazioni.