Effettore finale in ceramica

L'effettore finale in ceramica è la mano del robot che sposta i wafer semiconduttori tra le posizioni nelle apparecchiature e nei trasportatori per la lavorazione dei wafer. L'effettore finale deve essere dimensionalmente preciso e termicamente stabile, pur avendo una superficie liscia e resistente all'abrasione per gestire in sicurezza i wafer senza danneggiare i dispositivi o produrre contaminazione da particelle. Il nostro effettore finale in ceramica al carburo di silicio di elevata purezza fornisce una resistenza al calore superiore, un'uniformità termica uniforme per uno spessore e una resistenza costanti dello strato epi e una resistenza chimica duratura.

Noi di Semicorex ci concentriamo sulla fornitura di effettori finali in ceramica di alta qualità ed economici, diamo priorità alla soddisfazione del cliente e forniamo soluzioni economicamente vantaggiose. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di alta qualità e un servizio clienti eccezionale.

Parametri dell'effettore finale in ceramica

Caratteristiche dell'effettore finale in ceramica ad elevata purezza

● Grafite rivestita in SiC ad elevata purezza

● Resistenza al calore e uniformità termica superiori

● Rivestimento in cristallo SiC fine per una superficie liscia

● Elevata resistenza alla pulizia chimica

● Il materiale è progettato in modo che non si verifichino crepe e delaminazioni.