Robot End Effector

Semicorex è un produttore indipendente leader di grafite rivestita di carburo di silicio, grafite ad alta purezza lavorata con precisione, incentrata sulle aree di produzione di semiconduttori di grafite rivestita di carburo di silicio, ceramica di carburo di silicio e MOCVP. Il nostro Robot End Effector ha un buon vantaggio di prezzo e copre molti dei mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

Robot End Effector è la mano del robot che sposta i wafer semiconduttori tra le posizioni nelle apparecchiature di elaborazione dei wafer e nei supporti. Robot End Effector deve essere dimensionalmente preciso e termicamente stabile, pur avendo una superficie liscia e resistente all'abrasione per maneggiare in sicurezza i wafer senza danneggiare i dispositivi o produrre contaminazione da particolato. Il nostro rivestimento in carburo di silicio (SiC) ad alta purezza Robot End Effector offre una resistenza al calore superiore, uniformità termica uniforme per uno spessore e una resistenza costanti dello strato epi e una resistenza chimica duratura.

Parametri di Robot End Effector

Principali specifiche del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura di cristallo	FCC fase β
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	Î¼m	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Resistenza alla flessione	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curva 4pt, 1300℃)	430
Espansione termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300