Effettore finale del robot

Semicorex è un produttore leader e indipendente di grafite rivestita in carburo di silicio, grafite ad alta purezza lavorata con precisione, focalizzato sulle aree di grafite rivestita in carburo di silicio, ceramica in carburo di silicio e MOCVP della produzione di semiconduttori. Il nostro Robot End Effector ha un buon vantaggio di prezzo e copre molti mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

Il Robot End Effector è la mano del robot che sposta i wafer semiconduttori tra le posizioni nelle apparecchiature e nei trasportatori per la lavorazione dei wafer. L'effettore finale del robot deve essere dimensionalmente preciso e termicamente stabile, pur avendo una superficie liscia e resistente all'abrasione per gestire in sicurezza i wafer senza danneggiare i dispositivi o produrre contaminazione da particolato. Il nostro effettore finale per robot con rivestimento in carburo di silicio (SiC) di elevata purezza offre una resistenza al calore superiore, un'uniformità termica uniforme per uno spessore e una resistenza costanti dello strato Epi e una resistenza chimica duratura.

Parametri dell'effettore finale del robot

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura cristallina	Fase β dell'FCC
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	µm	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J kg-1 K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Forza flessionale	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃)	430
Dilatazione Termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300