Barche con wafer ceramico in carburo di silicio

Selezione di materiali premium

Le eccellenti proprietà della ceramica al carburo di silicio Semicorexbarche di wafersono attribuibili a materie prime di alta qualità. Realizzati in materiale SiSiC di grado semiconduttore e ricoperti con un rivestimento SiC CVD, i wafer ceramici in carburo di silicio presentano le seguenti eccellenti proprietà.

1. Purezza ultra elevata, priva di rilascio di impurità metalliche

Impurezza del substrato: <100 ppm

Impurità del rivestimento SiC CVD: <1 ppm

2.Stabilità termica superiore

Le imbarcazioni per wafer ceramici in carburo di silicio sono in grado di funzionare costantemente in condizioni di temperatura elevata di 1250 ℃, offrendo deformazione e resistenza allo scorrimento minime.

3. Elevata resistenza meccanica

Carburo di siliciopossiede un'elevata durezza e resistenza all'usura, consentendo ai wafer ceramici in carburo di silicio Semicorex di resistere a graffi, abrasioni e danni, funzionando bene durante il funzionamento a lungo termine ed essendo resistenti ai danni.

4. Eccezionale resistenza alla corrosione

Poiché il carburo di silicio è resistente alla corrosione di acidi e alcali forti, le imbarcazioni per wafer ceramici al carburo di silicio Semicorex possono mantenere la sua integrità strutturale e le prestazioni funzionali anche in condizioni di lavoro altamente corrosive.

Design strutturale ottimizzato

Le barche per wafer ceramici in carburo di silicio Semicorex sono progettate per la lavorazione di wafer in batch, la loro struttura strutturale ottimizzata garantisce un supporto stabile dei wafer in batch e una stabilità di processo costante per ciascun wafer.

Struttura di supporto verticale a 1,3 montanti

La struttura verticale delle imbarcazioni per wafer ceramici in carburo di silicio Semicorex consente loro di adattarsi perfettamente alle applicazioni dei forni verticali. Con questa struttura, le navicelle per wafer ceramici in carburo di silicio emicorex possono facilitare la circolazione omogenea dei gas di processo e la distribuzione uniforme dell'energia termica all'interno del forno ad alta temperatura.

2.Pizzicamenti di slot distribuiti uniformemente

Le barchette per wafer ceramici in carburo di silicio Semicorex sono dotate di molteplici pinze di slot lavorate con precisione sui loro montanti di supporto. I dispositivi di presa degli slot equidistanti raggiungono un'adeguata spaziatura degli slot, che consente ai contenitori per wafer ceramici in carburo di silicio di fissare saldamente i wafer semiconduttori, contribuendo così a migliorare la coerenza dei risultati di elaborazione termica dei wafer.

Con così tante prestazioni e funzioni eccellenti, le barchette per wafer ceramici al carburo di silicio Semicorex sono ampiamente utilizzate nei processi principali della produzione di wafer semiconduttori, come l'ossidazione, la diffusione, l'impianto di ioni e la ricottura ad alta temperatura.