Barche in wafer ceramico SiC

La selezione di navicelle per wafer affidabili e durevoli è fondamentale per garantire la stabilità del processo e la resa dei wafer durante condizioni operative ad alta temperatura e ad alta corrosione. SemicorexCeramica SiCle barche wafer sono la scelta ideale per questi scopi grazie ai loro molteplici vantaggi tra cui elevata integrazione, elevata stabilità, resistenza alle alte temperature, resistenza all'usura e lunga durata.

Selezioni di materie prime premium

Il controllo di qualità di Semicorex oltreBarchette in wafer ceramico SiCinizia con la rigorosa selezione delle materie prime. I wafer ceramici Semicorex SiC sono realizzati con polvere di carburo di silicio a livello di semiconduttore di elevata purezza tramite sinterizzazione ad alta temperatura. Grazie alla loro materia prima di prima qualità, offrono le seguenti prestazioni eccezionali.

1. Purezza ultraelevata, bassa contaminazione da impurità metalliche.

2. Struttura del materiale denso, che riduce la contaminazione dei wafer causata dalla perdita di particelle.

3. Eccellente resistenza alla corrosione contro plasma, acidi forti e alcali.

4. Elevata durezza e resistenza meccanica, resistente all'usura e ai graffi.

5. Stabilità termica eccezionale, nessuna deformazione o scorrimento a 1250°C.

6. Eccellente resistenza agli shock termici, riducendo lo stress termico dovuto a rapidi cambiamenti di temperatura.

Design personalizzato accurato

Le barche per wafer ceramici SiC Semicorex si adattano bene a molti OEM di forni leader nel settore, come TEL, ASM e Kokusai Electric. Semicorex offre soluzioni personalizzate per i nostri stimati clienti, supportando la personalizzazione delle dimensioni della navicella wafer, del passo dello slot, della profondità dello slot, del profilo dello slot (a V o a U) e degli angoli corrispondenti per consentire la perfetta compatibilità con le vostre apparecchiature e i requisiti di elaborazione.

Precisione della lavorazione di precisione

Supportata da apparecchiature di lavorazione avanzate e tecnologie di lavorazione mature, Semicorex è in grado di controllare rigorosamente le dimensioni e le tolleranze delle proprie imbarcazioni per wafer ceramici SiC. Questo controllo dimensionale ad alta precisione garantisce che i wafer semiconduttori siano posizionati saldamente durante il funzionamento, prevenendo efficacemente danni ai wafer derivanti da slittamento o inclinazione. Dopo la lavorazione di precisione, gli slot uniformemente distanziati delle navicelle per wafer ceramici SiC possono garantire che ciascun wafer venga riscaldato e reagisca in modo uniforme durante i processi di ossidazione, diffusione e CVD, il che contribuisce notevolmente a migliorare la coerenza del processo e la resa dei chip semiconduttori.