Mandrini sottovuoto SiC porosi

SiC poroso semicorexmandrini a vuotosono i componenti indispensabili, che possono essere ampiamente utilizzati nei processi avanzati di produzione di semiconduttori, come assottigliamento dei wafer, cubettatura, macinazione, lucidatura, fotolitografia, incisione. La loro piattaforma di adsorbimento è costruita con una piastra ceramica SiC porosa con numerosi pori su scala micron distribuiti uniformemente. Con un diametro dei pori costante e un'eccezionale velocità di foro passante, i mandrini a vuoto SiC porosi Semicorex forniscono un percorso regolare del gas per l'evacuazione del vuoto. Durante il funzionamento, viene generata una pressione negativa stabile e uniforme tra il mandrino e il wafer, consentendo il bloccaggio a vuoto e il rilascio ad alta efficienza dei wafer semiconduttori.

Vantaggi dei mandrini a vuoto SiC porosi Semicorex 

1. Eccezionale precisione di lavorazione

I wafer semiconduttori elaborati nella produzione avanzata di semiconduttori sono estremamente sottili, quindi anche una leggera flessione, vibrazione o sollecitazione locale irregolare può portare alla rottura del wafer, alla deformazione e alla ridotta precisione nei processi critici come la litografia. SemicorexSiC porosoi mandrini a vuoto vengono lavorati mediante rettifica e lucidatura ad alta precisione, ottenendo una perfetta rugosità superficiale di Ra ＜ 0,1 μm. Ciò consente ai mandrini a vuoto SiC porosi Semicorex di fornire una superficie operativa ottimizzata per la produzione di semiconduttori ad alta precisione.

2. Elevata pulizia ed elevata resistenza alla corrosione

Per soddisfare pienamente i rigorosi standard di pulizia dei semiconduttori, Semicorex produce mandrini a vuoto SiC porosi con materie prime in carburo di silicio di elevata purezza tramite sinterizzazione ad alta temperatura. Ciò garantisce che i mandrini siano esenti da spargimento di particelle e contaminazione metallica migrabile. Beneficiando dell'eccellente stabilità chimica del SiC, i mandrini a vuoto SiC porosi Semicorex sono in grado di resistere agli ambienti di corrosione più difficili e non generano sottoprodotti aggiuntivi, rendendoli particolarmente adatti per i processi di fabbricazione di semiconduttori puliti di alta qualità.

3. Eccellente durata e stabilità a lungo termine

I mandrini a vuoto utilizzati nelle linee di produzione devono resistere a migliaia di cicli di assorbimento e rilascio, nonché a fluttuazioni di temperatura a lungo termine. Ciò impone requisiti estremamente elevati in termini di prestazioni dei materiali dei mandrini a vuoto. I mandrini a vuoto SiC porosi Semicorex presentano un'eccezionale durezza del materiale e resistenza all'usura, con espansione termica stabile. Non mostrano alcun creep o degrado delle prestazioni in condizioni di alta temperatura, il che prolunga significativamente la loro durata di servizio e riduce la manutenzione dei componenti e la frequenza di sostituzione.