Dischi di deviazione del gas rivestiti in SiC

Semicorex è un ottimo esempio di materiali avanzati per semiconduttori e tecnologie di produzione all'avanguardiaRivestito in SiCi dischi di deviazione del gas sono realizzati con precisione in grafite ad elevata purezza come matrici con un denso rivestimento SiC mediante deposizione chimica di vapore. I dischi di deviazione del gas sono progettati principalmente per distribuire il gas di reazione in modo uniforme sulla superficie del wafer per garantire reazioni complete durante la lavorazione, facilitando così la formazione di film sottili monocristallini coerenti e uniformi.

I vantaggi dei dischi di deviazione del gas Semicorex rivestiti in SiC

1. Elevata purezza del materiale

Semicorex mantiene rigorosi standard di qualità del prodotto a partire dall'accurata selezione dei materiali. Grazie a questo rigoroso controllo della purezza della materia prima, i dischi di deviazione del gas rivestiti in SiC Semicorex offrono un basso contenuto di impurità e vantano una pulizia eccezionale. Ciò può impedire in modo significativo che gli ioni metallici e altri contaminanti compromettano i processi epitassiali dei semiconduttori.

2.Stabilità termica superiore

I componenti utilizzati in questi sistemi devono avere un'eccezionale stabilità termica poiché le apparecchiature epitassiali a semiconduttore funzionano tipicamente a temperature superiori a 1400°C. Questa eccezionale stabilità termica può garantire che i dischi di deviazione del gas rivestiti in SiC Semicorex resistano alle difficili condizioni operative ad alta temperatura e possano prevenire efficacemente il rilascio di impurità causato dall'alta temperatura durante il funzionamento, il che aiuta a garantire la qualità e la resa dei wafer epitassiali.

3. Notevole resistenza alla corrosione alle alte temperature

Le matrici di grafite non protette sono soggette a corrosione e generazione di particelle, motivo per cui i dischi di deviazione del gas sono comunemente trattati con un rivestimento in carburo di silicio per migliorarne la resistenza alla corrosione. Rivestiti con un denso rivestimento SiC, i dischi di deviazione del gas rivestiti in SiC Semicorex offrono un'eccellente resistenza all'ossidazione e alla corrosione chimica, che consente loro di funzionare costantemente per una lunga durata anche in condizioni operative difficili ad alta temperatura e corrosive.

4. Funzionalità di personalizzazione flessibili

Semicorex è dotato di molteplici apparecchiature di elaborazione avanzate, come apparecchiature di lavorazione CNC, rettificatrici superficiali e apparecchiature di perforazione a ultrasuoni, che offrono capacità di elaborazione esperte. Semicorex è in grado di offrire servizi di personalizzazione flessibili in base ai disegni del cliente e personalizzare le dimensioni, le tolleranze, la planarità della superficie, i diametri dei fori e la spaziatura dei fori dei dischi di deviazione del gas rivestiti in SiC per garantire una perfetta compatibilità con le apparecchiature epitassiali dei clienti.