Piastre per lucidatura wafer in allumina

Wafer di allumina Semicorex piastre lucidantisono parti lavorate di precisione realizzate in allumina di elevata purezza mediante pressatura isostatica, sinterizzazione ad alta temperatura e lavorazione di precisione. Sono ideali per applicazioni di lucidatura di precisione con requisiti rigorosi di precisione ed efficienza superficiale ultraelevata, in particolare per la lucidatura di wafer semiconduttori, poiché la ceramica di allumina offre proprietà fisiche e chimiche eccezionali.

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Lunga durata per un'eccellente resistenza all'usura

L'elevata resistenza all'usura è essenziale per le piastre di lucidatura dei wafer utilizzate nella lavorazione ad alta precisione. La durezza Mohs della ceramica di allumina è intorno a 9, seconda solo al diamante e al carburo di silicio, il che consente alle piastre di lucidatura dei wafer di resistere alle condizioni operative di attrito ad alta velocità e ad alto carico durante la lucidatura dei wafer semiconduttori con bassa perdita di usura. Grazie a questa eccellente resistenza all'usura, le piastre di lucidatura dei wafer di allumina presentano una durata di servizio duratura, riducendo significativamente la frequenza di arresti delle apparecchiature per la sostituzione e riducendo le spese di manutenzione e sostituzione.

Eccezionale stabilità termica e resistenza alle alte temperature

Alluminale piastre per lucidatura dei wafer possono mantenere le loro proprietà fisiche e le prestazioni di attrito durante ambienti ad alta temperatura di 1000 ℃ grazie alla loro eccezionale stabilità termica e resistenza alle alte temperature. Sono adatti alle condizioni di lavoro ad alta temperatura causate da frequenti attriti, evitando efficacemente la deformazione termica e contribuendo a mantenere una superficie lucidante costante.

Affidabile resistenza alla corrosione chimica

Le piastre per lucidatura dei wafer di allumina presentano un'affidabile resistenza alla corrosione chimica. Possono resistere alla maggior parte degli acidi e degli alcali, nonché alle comuni soluzioni chimiche di lucidatura utilizzate nel processo CMP. La loro planarità superficiale non sarà compromessa dalla corrosione chimica, influenzando così la qualità della superficie dei wafer semiconduttori.

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Applicazioni per piastre di lucidatura per wafer di allumina Semicorex

1. Lucidatura dei wafer semiconduttori

Le piastre per lucidatura dei wafer in allumina sono ampiamente utilizzate nella molatura, lucidatura grossolana e lucidatura finale di silicio, SiC, zaffiro e vari substrati di wafer. Grazie alla rugosità ultra-bassa e alla planarità superficiale su scala nanometrica, le piastre di lucidatura dei wafer di allumina possono soddisfare idealmente i rigorosi requisiti di qualità superficiale dei processi avanzati dei semiconduttori come l'incisione e la litografia.

2. Assottigliamento del wafer e lucidatura dei bordi

Durante il processo di assottigliamento dei wafer, è possibile utilizzare piastre di lucidatura dei wafer in allumina per controllare con precisione lo spessore dei wafer e rimuovere uniformemente i materiali sul retro. Nel processo di lucidatura dei bordi, le piastre di lucidatura in allumina possono anche contribuire a ottenere la qualità ottimale dei bordi dei wafer eliminando bave e difetti sui bordi dei wafer.