In qualità di produttori professionali, vorremmo fornirvi componenti a semiconduttore. Semicorex è il tuo partner per migliorare la lavorazione dei semiconduttori. I nostri rivestimenti in carburo di silicio sono densi, resistenti alle alte temperature e agli agenti chimici e vengono spesso utilizzati nell'intero ciclo di produzione dei semiconduttori, compresa la lavorazione di wafer e wafer semiconduttori e la fabbricazione di semiconduttori.
I componenti rivestiti in SiC di elevata purezza sono fondamentali per i processi nel semiconduttore. La nostra offerta spazia dai materiali di consumo in grafite per zone calde di crescita dei cristalli (riscaldatori, suscettori del crogiolo, isolamento), ai componenti in grafite ad alta precisione per apparecchiature di lavorazione dei wafer, come i suscettori in grafite rivestiti in carburo di silicio per Epitassia o MOCVD.
Vantaggi per i processi dei semiconduttori
Le fasi di deposizione di film sottili come l'epitassia o MOCVD, o il trattamento dei wafer come l'incisione o l'impianto ionico, devono sopportare temperature elevate e una pulizia chimica aggressiva. Semicorex fornisce una struttura in grafite rivestita in carburo di silicio (SiC) di elevata purezza che offre una resistenza al calore superiore e una resistenza chimica duratura, uniforme termica per uno spessore e una resistenza costanti dello strato Epi.
Coperchi delle camere →
I coperchi delle camere utilizzati nella crescita dei cristalli e nella lavorazione dei wafer devono resistere alle alte temperature e alla pulizia chimica aggressiva.
Effetto finale →
L'effettore finale è la mano del robot che sposta i wafer semiconduttori tra le posizioni nelle apparecchiature e nei trasportatori per la lavorazione dei wafer.
Anelli di ingresso →
Anello di ingresso del gas rivestito in SiC mediante attrezzatura MOCVD. La crescita del composto ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi.
Anello di messa a fuoco →
Semicorex fornisce un anello di messa a fuoco rivestito in carburo di silicio che è davvero stabile per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva.
Mandrino per wafer →
I mandrini per wafer sottovuoto in ceramica ultrapiatta Semicorex sono rivestiti in SiC ad elevata purezza nel processo di movimentazione dei wafer.
Il filamento riscaldante Semicorex SiC è un riscaldatore in grafite rivestito in carburo di silicio progettato per il riscaldamento dei wafer nella produzione avanzata di semiconduttori. Scegliere Semicorex significa selezionare un partner fidato che offre materiali di elevata purezza, personalizzazione di precisione e prestazioni di lunga durata per i processi termici più impegnativi.*
Per saperne di piùInvia richiestaI mandrini in carburo di silicio Semicorex sono appositamente progettati per apparecchiature di fotolitografia e presentano molteplici vantaggi come alta precisione, peso ultraleggero, elevata rigidità, basso coefficiente di dilatazione termica ed eccellente resistenza all'usura.
Per saperne di piùInvia richiestaI tubi per forno Semicorex SiC sono tubi in carburo di silicio di elevata purezza prodotti con tecnologia di stampa 3D avanzata, progettati per processi fotovoltaici ad alta temperatura. Semicorex offre soluzioni SiC all'avanguardia con resistenza, stabilità e affidabilità superiori, apprezzate dall'industria solare in tutto il mondo.*
Per saperne di piùInvia richiestaLe palette SiC Semicorex sono bracci a sbalzo in carburo di silicio di elevata purezza progettati per il trasporto di wafer in forni di ossidazione e diffusione ad alta temperatura superiori a 1000 ℃. Scegliere Semicorex significa garantire qualità dei materiali eccezionale, ingegneria di precisione e affidabilità a lungo termine di cui si fidano le principali fabbriche di semiconduttori.*
Per saperne di piùInvia richiestaSemicorex SiC Focus Ring è un componente ad anello in carburo di silicio di elevata purezza progettato per ottimizzare la distribuzione del plasma e l'uniformità del processo wafer nella produzione di semiconduttori. Scegliere Semicorex significa garantire qualità costante, ingegneria avanzata dei materiali e prestazioni affidabili a cui si affidano le principali fabbriche di semiconduttori in tutto il mondo.*
Per saperne di piùInvia richiestaLa macinatura del bordo del wafer Semicorex è un disco ceramico realizzato in allumina bianca di alta purezza, progettata per la macinazione del bordo del wafer nella produzione di semiconduttori. Scegliere Semicorex garantisce una qualità del materiale superiore, ingegneria di precisione e prestazioni affidabili che supportano gli ambienti di elaborazione del wafer più esigenti.*
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