Barche a cassetta in silicio

Le barchette a cassetta in silicio realizzate in silicio policristallino o monocristallino di elevata purezza insuperabile presentano i seguenti vantaggi:

1. Contaminazione da impurità estremamente bassa: 

I loro materiali condividono la stessa composizione chimica dei wafer trasportati, riducendo al minimo gli ioni di impurità indesiderate durante i processi ad alta temperatura.

2. Stabilità termica superba: 

Sono in grado di resistere all'indeformabilità e mantenere una spaziatura precisa per un'esposizione prolungata alle alte temperature (intorno a 1250°C), fornendo così una piattaforma di supporto stabile per i wafer.

proprietà meccaniche 3.Excellent: 

Sono più resistenti agli urti e meno soggetti a rotture durante il carico e lo scarico rispetto alle barche al quarzo.

4. Lunga durata: 

Senza rivestimento superficiale, i materiali superficiali non si staccano anche se esposti per lungo tempo ad ambienti difficili ad alta temperatura.

Silicone semicorexbarche a cassettasono supporti di trasferimento e supporto per wafer di piccole dimensioni compatibili con forni orizzontali ad alta temperatura da 4 pollici e 6 pollici. Il design strutturale formato integrato evita gli spazi di giunzione e le debolezze strutturali in corrispondenza dei giunti, riducendo notevolmente i rischi di fessurazioni causate da impatto meccanico, corrosione chimica o stress termico. Le barchette a cassetta in silicio sono ben compatibili con procedure di trattamento ad alta temperatura come ossidazione, diffusione, ricottura e pulizia ad alta temperatura grazie in gran parte alla tecnologia di lavorazione all'avanguardia di Semicorex.

Le barche a cassetta in silicio Semicorex supportano regolazioni personalizzate di fascia alta per i nostri stimati clienti, inclusi aspetti quali la forma della barra scanalata, la lunghezza dei denti della scanalatura, il profilo, l'angolo di inclinazione e la capacità di caricamento totale del wafer. Questo design su misura garantisce che i wafer siano disposti con precisione a intervalli fissi all'interno delle cassette in silicio, mitigando efficacemente la deviazione di posizione e il riscaldamento irregolare durante la lavorazione e prevenendo così danni alle prestazioni elettriche del chip o addirittura il completo guasto del chip. Per garantire che i clienti ricevano prodotti di alta qualità, le imbarcazioni con cassette in silicio di Semicorex devono superare severi controlli di qualità, tra cui precisione dimensionale, proprietà dei materiali, planarità della superficie, pulizia generale e stress residuo.