Barca con piedistallo in silicone

Semicorex Silicon Pedestal Boat è un supporto per wafer ultra pulito che è stato progettato con elevata purezza e precisione per supportare processi di semiconduttori ad alta temperatura come ossidazione, diffusione e LPCVD (deposizione di vapore chimico a bassa pressione). Questo supporto per wafer è realizzato in 9N (99,9999999%)silicio di elevata purezzaper garantire pulizia eccezionale, stabilità del coefficiente termico di espansione e precisione meccanica per il supporto dei wafer e un controllo coerente del processo in ambienti ultra puliti.

Poiché le geometrie dei dispositivi semiconduttori continuano a ridursi, la necessità di componenti per la gestione dei wafer ultra puliti e termicamente compatibili non è mai stata così richiesta. La Silicon Pedestal Boat risponde a queste esigenze con elevata precisione dimensionale e purezza senza pari per essere utilizzata in sistemi di forni avanzati che funzionano tra 1100°C e 1250°C.

La struttura della barca in silicio può essere personalizzata per soddisfare le esigenze del cliente, tra cui la forma della barra scanalata, la lunghezza dei denti della scanalatura, la forma, l'angolo di inclinazione e la capacità di carico totale del wafer. Le imbarcazioni in silicio ad alta temperatura possono ridurre efficacemente i danni da contatto sui wafer di silicio, migliorando la resa del processo. Il suo design a "torri antiscivolo" ad alta temperatura supporta i wafer solo sulla punta del dente di supporto. Rispetto al carburo di silicio, il silicio è relativamente meno duro, riducendo i danni meccanici ai wafer, migliorando così la qualità del reticolo e riducendo efficacemente i costi di produzione.

La barca a piedistallo è disponibile insilicio monocristallino o policristallinoper eliminare i rischi di contaminazione associati ai materiali non siliconici. La piattaforma condivide la stessa composizione chimica dei wafer utilizzati attivamente, riducendo al minimo le reazioni indesiderate o la diffusione di ioni durante i processi ad alta temperatura. L'omogeneità del materiale riduce sostanzialmente l'identità fisica delle particelle e delle impurità metalliche per una qualità elevata e costante dei wafer e un'elevata resa del dispositivo attraverso cicli di produzione ripetuti.

La Semicorex Silicon Pedestal Boat è dotata di slot per wafer progettati con precisione, combinati con strutture di supporto verticali, che garantiscono che i wafer rimangano perfettamente allineati e distanziati durante il ciclo di riscaldamento. La sua stabilità dimensionale è eccezionale, garantendo che la barca a piedistallo non si deformi, si pieghi o si sposti a temperature estreme, garantendo una buona distribuzione della temperatura e del gas su ciascun wafer. Questa stabilità dimensionale ha un effetto positivo immediato sull'uniformità dello spessore del film durante l'ossidazione e la diffusione e garantisce un numero inferiore di difetti nonché una migliore ripetibilità del processo.

Il vantaggio principale della barca con piedistallo in silicio sono le sue proprietà meccaniche e termiche ottimizzate. La durezza del silicio rispetto al SiC o al quarzo contribuirà a ridurre la generazione di micrograffi e particelle dovuta alla vibrazione o al movimento del wafer durante l'espansione riscaldata. Ciò è particolarmente vero per i wafer sensibili al retro, dove l'integrità della superficie del wafer è fondamentale per la resa e le prestazioni del dispositivo.

Semicorex fornisce progetti personalizzati per una varietà di configurazioni di apparecchiature, tra cui diametro del wafer, numero di slot, altezza del piedistallo e variazioni della geometria. Ogni prodotto viene sottoposto a controlli di purezza, misurazione dimensionale e test di conduttività termica, il tutto per soddisfare gli standard più elevati nel processo di produzione dei semiconduttori.

Semicorex fornisce progetti personalizzati per una varietà di configurazioni di apparecchiature, tra cui diametro del wafer, numero di slot, altezza del piedistallo e variazioni della geometria. Ogni prodotto viene sottoposto a controlli di purezza, misurazione dimensionale e test di conduttività termica, il tutto per soddisfare gli standard più elevati nel processo di produzione dei semiconduttori.

La Silicon Pedestal Boat è compatibile con i processi di ossidazione e diffusione, nonché con LPCVD e applicazioni di ricottura che richiedono uniformità di temperatura e controllo della contaminazione insuperabili. La Silicon Pedestal Boat è compatibile con altri componenti del forno in silicio come il tubo dell'iniettore, il tubo di rivestimento e il supporto del wafer, mantenendo il materiale e la corrispondenza termica in tutto il sistema di elaborazione.