Barca con wafer di silicio

Semicorex può personalizzare la struttura della barca del wafer di silicio, inclusa la forma dell'asta scanalata, la lunghezza del dente della scanalatura, la forma, l'angolo di inclinazione e la capacità di carico totale del wafer, e può essere prodotto in base alle esigenze del cliente. Le imbarcazioni in silicio ad alta temperatura possono ridurre efficacemente i danni da contatto sui wafer di silicio e migliorare la resa del processo. Il suo design a "torri antiscivolo" ad alta temperatura supporta i wafer solo sulla punta del dente di supporto. Rispetto acarburo di silicio, il silicio ha una durezza relativamente bassa, che riduce i danni meccanici ai wafer, migliorando così la velocità di passaggio del reticolo e riducendo efficacemente i costi di produzione. La barca in silicio fuso è composta da diverse parti: denti, piastra di base e piastra superiore, che sono fuse insieme. Ciò riduce i costi di produzione. In caso di danno parziale, le parti danneggiate possono essere sostituite senza sostituire l'intera barca in silicone, riducendo notevolmente i costi di proprietà durante l'uso. Inoltre, la barca in silicio ha un ampio limite superiore per la deposizione del polisilicio, che può ridurre efficacemente la frequenza delle apparecchiature PM e migliorare la capacità di produzione.

Semicorex Silicon Wafer Boat è un trasportatore di wafer innovativo e appositamente progettato. È specificatamente creato per la lavorazione in forni ad alta temperatura utilizzati nell'industria dei semiconduttori, compresi i processi di ossidazione e riduzione a temperature comprese tra 1200 e 1250 °C. Dotato di vantaggi prestazionali non disponibili nel materiale in carburo di silicio (SiC), il Silicon Wafer Boat offre vantaggi pertinenti ai rigorosi processi richiesti dalla produzione di semiconduttori. Innanzitutto, la purezza ultraelevata del materiale silicico è significativa; infatti, ilmateriale siliconicoraggiunge livelli di purezza ultra elevati superiori a 9N (99,9999999%), garantendo così che nessuna impurità metallica o estranea possa contaminare la lavorazione dei wafer. Ciò è fondamentale per la produzione di dispositivi a semiconduttore all'avanguardia in cui l'affidabilità delle prestazioni e la resa sono fortemente influenzate dalla contaminazione. La Silicon Wafer Boat fornisce un ambiente ultra pulito con un elevato livello di purezza adatto ai requisiti industriali più avanzati per la movimentazione di wafer esposti a temperature molto elevate per il processo di ossidazione e riduzione.

Un altro vantaggio dimateriale siliconicoè la sua minore durezza rispetto al materiale SiC. Le barre o le barchette SiC sono note per la loro durezza e resistenza, ma proprio queste proprietà possono portare a difficoltà durante la lavorazione dei wafer. A temperature elevate, i wafer si muovono micro; rimbalzeranno leggermente, si sposteranno leggermente e si deformeranno all'interno della barca. Un materiale SiC più duro può comportare rischi maggiori di generare particelle o graffi sul retro del wafer poiché le proprietà del wafer e della navicella interagiscono in queste condizioni di lavorazione ad alta temperatura.

La Silicon Wafer Boat allevia questa preoccupazione sfruttando il carattere relativamente morbido del silicio rispetto al SiC. La riduzione della durezza consente sia un minore attrito che uno stress meccanico quando i wafer entrano in contatto con la barca durante i cicli termici. Di conseguenza, le particelle vengono generate meno spesso e il rischio di graffi sul retro è ridotto quasi a zero. Inoltre, riducendo al minimo i difetti superficiali, la Silicon Wafer Boat migliora direttamente la qualità del reticolo e aumenta il tasso di qualificazione complessivo dei wafer lavorati. Per le fabbriche di semiconduttori che desiderano migliorare i rendimenti con il massimo controllo di qualità, questo stato di prestazioni rende la barca in silicio un'opzione interessante.

Il silicio offre buona stabilità e resistenza meccanica alle alte temperature, consentendo alla barca di funzionare in modo affidabile durante cicli ripetuti del forno. Il materiale resiste alla deformazione durante i cicli di riscaldamento e raffreddamento e, pertanto, mantiene il posizionamento preciso del wafer e la tolleranza di posizionamento anche durante i cicli rapidi del forno. Questa robustezza termica fornisce risultati di processo affidabili che sono sufficientemente coerenti per la produzione di volumi elevati con variazioni minime tra i cicli. La Silicon Wafer Boat è costruita con elevata precisione dimensionale per garantire un posizionamento e un posizionamento coerenti dei wafer. La barca è fabbricata utilizzando lavorazioni meccaniche e lucidature avanzate per creare superfici lisce, geometria stretta e tolleranze strette.