In qualità di produttori professionali, vorremmo fornirvi componenti a semiconduttore. Semicorex è il tuo partner per migliorare la lavorazione dei semiconduttori. I nostri rivestimenti in carburo di silicio sono densi, resistenti alle alte temperature e agli agenti chimici e vengono spesso utilizzati nell'intero ciclo di produzione dei semiconduttori, compresa la lavorazione di wafer e wafer semiconduttori e la fabbricazione di semiconduttori.
I componenti rivestiti in SiC di elevata purezza sono fondamentali per i processi nel semiconduttore. La nostra offerta spazia dai materiali di consumo in grafite per zone calde di crescita dei cristalli (riscaldatori, suscettori del crogiolo, isolamento), ai componenti in grafite ad alta precisione per apparecchiature di lavorazione dei wafer, come i suscettori in grafite rivestiti in carburo di silicio per Epitassia o MOCVD.
Vantaggi per i processi dei semiconduttori
Le fasi di deposizione di film sottili come l'epitassia o MOCVD, o il trattamento dei wafer come l'incisione o l'impianto ionico, devono sopportare temperature elevate e una pulizia chimica aggressiva. Semicorex fornisce una struttura in grafite rivestita in carburo di silicio (SiC) di elevata purezza che offre una resistenza al calore superiore e una resistenza chimica duratura, uniforme termica per uno spessore e una resistenza costanti dello strato Epi.
Coperchi delle camere →
I coperchi delle camere utilizzati nella crescita dei cristalli e nella lavorazione dei wafer devono resistere alle alte temperature e alla pulizia chimica aggressiva.
Effetto finale →
L'effettore finale è la mano del robot che sposta i wafer semiconduttori tra le posizioni nelle apparecchiature e nei trasportatori per la lavorazione dei wafer.
Anelli di ingresso →
Anello di ingresso del gas rivestito in SiC mediante attrezzatura MOCVD. La crescita del composto ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi.
Anello di messa a fuoco →
Semicorex fornisce un anello di messa a fuoco rivestito in carburo di silicio che è davvero stabile per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva.
Mandrino per wafer →
I mandrini per wafer sottovuoto in ceramica ultrapiatta Semicorex sono rivestiti in SiC ad elevata purezza nel processo di movimentazione dei wafer.
Semicorex Silicon Pedestal Boat è un supporto per wafer 9N ad altissima purezza progettato per un supporto wafer preciso e stabile nei processi di ossidazione, diffusione e LPCVD ad alta temperatura. Scegli Semicorex per purezza del materiale senza pari, lavorazione di precisione e affidabilità comprovata*
Per saperne di piùInvia richiestaSemicorex Silicon Injector è un componente tubolare ad altissima purezza progettato per l'erogazione di gas precisa e priva di contaminazioni nei processi di deposizione di polisilicio LPCVD. Scegli Semicorex per purezza leader del settore, lavorazione di precisione e affidabilità comprovata.*
Per saperne di piùInvia richiestaSemicorex Silicon Wafer Boat è un supporto ad elevata purezza progettato per forni ad alta temperatura per semiconduttori, che supporta i wafer durante i processi di ossidazione e riduzione a 1200–1250 °C. Semicorex fornisce prodotti superiori, prestazioni ultra-pulite e risultati affidabili che migliorano direttamente la resa del dispositivo.*
Per saperne di piùInvia richiestaSemicorex Silicon Shield Ring è un componente in silicio di elevata purezza progettato per sistemi avanzati di incisione al plasma, che funge sia da scudo protettivo che da elettrodo ausiliario. Semicorex garantisce prestazioni ultra pulite, stabilità del processo e risultati di incisione superiori con componenti semiconduttori progettati con precisione.*
Per saperne di piùInvia richiestaSemicorex SiC Ceramic Paddle è un componente cantilever di elevata purezza progettato per forni ad alta temperatura per semiconduttori, utilizzato principalmente nei processi di ossidazione e diffusione. Scegliere Semicorex significa avere accesso a soluzioni ceramiche avanzate che garantiscono stabilità, pulizia e durata eccezionali per applicazioni critiche di gestione dei wafer.*
Per saperne di piùInvia richiestaLe parti Halfmoon rivestite in SiC Semicorex sono componenti di precisione progettati come elementi essenziali dell'apparecchiatura epitassiale, in cui due sezioni a forma di mezzaluna si uniscono per formare un nucleo centrale completo. Scegliere Semicorex significa garantire soluzioni affidabili, di elevata purezza e durevoli che garantiscono un supporto stabile dei wafer e un'efficiente conduzione del calore per la produzione avanzata di semiconduttori.*
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