Anelli scanalati in Poly-Si

Gli anelli scanalati Poly-Si sono comunemente installati nella camera di reazione di apparecchiature avanzate di incisione dei semiconduttori. Funzionano in sinergia con le parti in silicio, compreso il silicioanelli di messa a fuoco, anelli esterni in silicio e siliciosoffioni. Queste parti possono creare un ambiente di reazione stabile e ottimale per il processo di incisione, garantendo un'eccellente qualitàacquaforteprecisione e coerenza del processo.

Funzioni degli anelli scanalati Semicorex poly-Si

1. Gli anelli scanalati in poly-Si Semicorex sono dotati di più scanalature distribuite uniformemente che fungono da passaggi del gas, consentendo uno scarico regolare dei gas di processo dopo la reazione.

2. Gli anelli scanalati in poly-Si Semicorex sono in grado di ottenere un eccellente controllo del plasma, offrendo una protezione affidabile per la camera di reazione delle apparecchiature di incisione dei semiconduttori.

3. Gli anelli scanalati in poly-Si Semicorex possono aiutare a regolare il campo elettrico e la pressione della camera, impedendo così che l'instabilità influisca sulla coerenza del processo di incisione.

Selezione dei materiali di alto livello

Gli anelli scanalati Semicorex poly-Si sono realizzati in silicio policristallino di alta qualità con un livello di purezza superiore al 99,9999%, che conferisce loro le proprietà superiori come segue.

1. Purezza ultraelevata e contenuto di impurità estremamente basso.

2. Eccezionale resistenza alla corrosione al plasma.

3. Proprietà elettriche favorevoli, con uniformità di resistenza: RRG ≤ 5%, bassa risoluzione. (<0,02), risoluzione media. (1–4) e alta risoluzione. (70-90).

Capacità produttive e controllo qualità

Dotato di attrezzature di lavorazione avanzate e di un team tecnico esperto, Semicorex controlla rigorosamente ogni processo di produzione e offre ai nostri stimati clienti anelli scanalati in poly-Si di alta qualità e ben abbinati. Inoltre, Semicorex effettua un controllo rigoroso sulla misurazione dimensionale, sui test di resistività e sull'ispezione visiva sugli anelli scanalati in poly-Si finiti per garantirne l'assenza di difetti quali scheggiature, graffi, crepe e macchie.