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Rivestimento SiC ad alta temperatura per camere di attacco al plasma

Rivestimento SiC ad alta temperatura per camere di attacco al plasma

Quando si tratta di processi di gestione dei wafer come epitassia e MOCVD, il rivestimento SiC ad alta temperatura di Semicorex per camere di incisione al plasma è la scelta migliore. I nostri supporti garantiscono una resistenza al calore superiore, un'uniformità termica uniforme e una resistenza chimica duratura grazie al nostro sottile rivestimento in cristalli SiC.

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Vassoio per incisione al plasma ICP

Vassoio per incisione al plasma ICP

Il vassoio per incisione al plasma ICP di Semicorex è progettato specificamente per processi di gestione dei wafer ad alta temperatura come epitassia e MOCVD. Con una resistenza all'ossidazione stabile e alle alte temperature fino a 1600°C, i nostri carrier forniscono profili termici uniformi, schemi di flusso di gas laminare e prevengono la contaminazione o la diffusione di impurità.

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Sistema di incisione al plasma ICP

Sistema di incisione al plasma ICP

Il supporto rivestito in SiC di Semicorex per il sistema di incisione al plasma ICP è una soluzione affidabile ed economica per processi di gestione dei wafer ad alta temperatura come epitassia e MOCVD. I nostri supporti sono dotati di un sottile rivestimento in cristalli SiC che fornisce resistenza al calore superiore, uniformità termica uniforme e resistenza chimica duratura.

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Plasma accoppiato induttivamente (ICP)

Plasma accoppiato induttivamente (ICP)

Il suscettore rivestito in carburo di silicio di Semicorex per plasma accoppiato induttivamente (ICP) è progettato specificamente per processi di gestione di wafer ad alta temperatura come epitassia e MOCVD. Con una resistenza all'ossidazione stabile e alle alte temperature fino a 1600°C, i nostri supporti garantiscono profili termici uniformi, schemi di flusso di gas laminare e prevengono la contaminazione o la diffusione di impurità.

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Porta wafer per incisione ICP

Porta wafer per incisione ICP

Il supporto per wafer di incisione ICP di Semicorex è la soluzione perfetta per i processi di gestione dei wafer ad alta temperatura come epitassia e MOCVD. Con una resistenza all'ossidazione stabile e alle alte temperature fino a 1600°C, i nostri supporti garantiscono profili termici uniformi, schemi di flusso di gas laminare e prevengono la contaminazione o la diffusione di impurità.

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Piastra portante per incisione ICP

Piastra portante per incisione ICP

La piastra portante per incisione ICP di Semicorex è la soluzione perfetta per i processi più impegnativi di gestione dei wafer e di deposizione di film sottile. Il nostro prodotto offre resistenza superiore al calore e alla corrosione, uniformità termica e modelli di flusso di gas laminare. Con una superficie pulita e liscia, il nostro supporto è perfetto per la movimentazione di wafer incontaminati.

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Semicorex produce Supporto per incisione ICP da molti anni ed è uno dei produttori e fornitori Supporto per incisione ICP professionali in Cina. Una volta acquistati i nostri prodotti avanzati e durevoli che forniscono imballaggi sfusi, garantiamo la grande quantità in consegna rapida. Nel corso degli anni, abbiamo fornito ai clienti un servizio personalizzato. I clienti sono soddisfatti dei nostri prodotti e del servizio eccellente. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner commerciale affidabile a lungo termine! Benvenuti a comprare prodotti dalla nostra fabbrica.
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