Mandrino per vuoto per wafer

Perfetti per la litografia di prossima generazione e le applicazioni di gestione dei wafer, i componenti in ceramica ultrapura Semicorex garantiscono una contaminazione minima e forniscono prestazioni di durata eccezionalmente lunga. Il nostro mandrino sottovuoto per wafer ha un buon vantaggio in termini di prezzo e copre molti mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

Il mandrino sottovuoto per wafer in ceramica ultrapiatto Semicorex è rivestito in SiC ad alta purezza utilizzato nel processo di gestione dei wafer. Mandrino sottovuoto per wafer semiconduttori dell'attrezzatura MOCVD La crescita del composto ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi e migliora la gestione della resa per la lavorazione dei wafer semiconduttori. Le configurazioni a basso contatto superficiale riducono al minimo il rischio di particelle sul lato posteriore per applicazioni sensibili.

Noi di Semicorex ci concentriamo sulla fornitura di mandrini per vuoto per wafer di alta qualità ed economici, diamo priorità alla soddisfazione del cliente e forniamo soluzioni economicamente vantaggiose. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di alta qualità e un servizio clienti eccezionale.

Parametri del mandrino per vuoto wafer

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC
Proprietà SiC-CVD
Struttura cristallina	Fase β dell'FCC
Densità	g/cm³	3.21
Durezza	Durezza Vickers	2500
Granulometria	µm	2~10
Purezza chimica	%	99.99995
Capacità termica	J kg-1 K-1	640
Temperatura di sublimazione	℃	2700
Forza flessionale	MPa (RT 4 punti)	415
Modulo di Young	Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃)	430
Dilatazione Termica (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Conduttività termica	(W/mK)	300