Barche da wafer

Le barche di wafer Semicorex prodotte in carburo di silicio di alta purezza (SIC) sono componenti essenziali nella fabbricazione di semiconduttori. I processi di semiconduttore in cui vengono utilizzati in genere includono ambienti ad alta temperatura e corrosivi come diffusione, ossidazione e processi LPCVD. L'applicazione delle barche del wafer SIC è stata progettata per massimizzare la stabilità termica e la resistenza chimica, consentendo un supporto, l'allineamento e il trasporto ottimali di wafer di silicio durante l'elaborazione per rese e prestazioni del dispositivo ottimali.

Il carburo di silicio è ben documentato come un'eccellente ceramica termicamente conduttiva, esibendo un'elevata resistenza meccanica e una resistenza di shock termica superiore, resistenza all'ossidazione e resistenza chimica aggressiva con sostanze chimiche come HF e HCl. Le proprietà di SIC lo rendono particolarmente attraente come materiale per le barche di wafer per i processi di fabbricazione di semiconduttori di prossima generazione e in ambienti ad alta temperatura. Le barche del wafer SIC possono mantenere l'integrità strutturale e la stabilità dimensionale a temperature di processo di> 1500 ° C, riducendo al minimo il rischio di deformazione o contaminazione dei wafer nei trattamenti termici critici.

Ogni sicbarca da waferè prodotto da SIC di alta purezza utilizzando processi avanzati di formazione e sinterizzazione della ceramica e può essere adattato per una vasta gamma di diametri di wafer (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) e configurazioni di impilamento sia verticali o orizzontali. Le nostre barche di wafer SIC hanno superfici lisce e un'eccellente planarità che minimizzano la generazione di particelle e sono ideali per i sistemi automatizzati di manipolazione dei wafer.

Il controllo e la resa della contaminazione sono due dei problemi più critici nei fab moderni. La pulizia e l'affidabilità dei vettori di wafer SIC influenzano la qualità del prodotto e le prestazioni del processo di coerenza.  Le barche del wafer SIC hanno una longevità molto migliore per l'uso, hanno meno requisiti di manutenzione e un TCO più basso rispetto al quarzo o alternative a base di allumina. Una migliore longevità significa anche meno problemi con lo spargimento di micro-particelle, pertanto, influenzando la pulizia della superficie del wafer e influisce sulla pulizia della pulizia.

Semicorex è focalizzato sulla progettazione e produzione di barche di wafer SiC che utilizzano le più alte materie prime purezza possibile combinate con sinterizzazione dell'atmosfera a bassa contaminazione.  Facciamo ogni sforzo per mantenere bassi livelli di impurità, per mantenere la porosità a basso valore e una microstruttura uniforme in modo che il lavoro del team possa godere regolarmente di caratteristiche termiche coerenti, spaziatura precisa dei wafer e resistenza senza degradazione chimica senza rivali.

Semicorex sicbarche da wafersono un elemento necessario per l'elaborazione ad alta temperatura dei semiconduttori. Le barche di wafer di carbidi in silicio ad alta purezza hanno caratteristiche di materiale senza pari, eccellenza ingegnerizzata e temperamento senza micro-contaminazione, le rendono la scelta di alto livello per la fabbricazione di wafer ad alte prestazioni. Semicorex offre l'affidabilità e le alte prestazioni innovative per supportare i tuoi processi di semiconduttore più mission -critical.