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Wafer Boat per il processo dei semiconduttori

Semicorex fornisce imbarcazioni per wafer, piedistalli e supporti per wafer personalizzati sia per configurazioni verticali/a colonna che orizzontali. Da molti anni siamo produttori e fornitori di pellicole di rivestimento in carburo di silicio. La nostra Wafer Boat per il processo di semiconduttore ha un buon vantaggio in termini di prezzo e copre la maggior parte dei mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

Semicorex SiC Wafer Boat per processi a semiconduttori, la soluzione definitiva per la gestione e la protezione dei wafer nella produzione di semiconduttori. La nostra vaschetta per wafer per il processo dei semiconduttori è realizzata in carburo di silicio di alta qualità, che ha una buona resistenza alla corrosione ed un'eccellente resistenza alle alte temperature e agli shock termici. Le ceramiche avanzate offrono un'eccellente resistenza termica e durata del plasma, mitigando al contempo particelle e contaminanti per i supporti wafer ad alta capacità.

Parametri della Wafer Boat per il processo dei semiconduttori

Proprietà tecniche
Indice	Unità	Valore
Nome del materiale		Carburo di silicio sinterizzato a reazione	Carburo di silicio sinterizzato senza pressione	Carburo di silicio ricristallizzato
Composizione		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densità apparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistenza alla flessione	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Resistenza alla compressione	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	>600
Durezza	Pulsante	2700	2800	/
Tenacia di rottura	MPa·m1/2	4.5	4	/
Conducibilità termica	W/m.k	95	120	23
Coefficiente di dilatazione termica	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Calore specifico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura massima nell'aria	℃	1200	1500	1600
Modulo elastico	GP	360	410	240

Caratteristiche della Wafer Boat per il processo dei semiconduttori

Resistenza al calore e uniformità termica superiori
Rivestimento in cristallo SiC fine per una superficie liscia
Elevata resistenza alla pulizia chimica
Il materiale è progettato in modo tale che non si verifichino crepe e delaminazioni.