Semicorex fornisce wafer boat, piedistalli e porta wafer personalizzati per configurazioni verticali/a colonna e orizzontali. Siamo produttori e fornitori di pellicole di rivestimento in carburo di silicio da molti anni. Il nostro Wafer Boat per Semiconductor Process ha un buon vantaggio di prezzo e copre la maggior parte dei mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.
Semicorex SiC Wafer Boat for Semiconductor Process, la soluzione definitiva per la gestione e la protezione dei wafer nella produzione di semiconduttori. La nostra barca wafer per il processo dei semiconduttori è realizzata in carburo di silicio di alta qualità, che ha una buona resistenza alla corrosione e un'eccellente resistenza alle alte temperature e agli shock termici. Le ceramiche avanzate offrono un'eccellente resistenza termica e durabilità al plasma, mitigando allo stesso tempo particelle e contaminanti per supporti wafer ad alta capacità.
Parametri della barca wafer per il processo dei semiconduttori
Proprietà tecniche |
||||
Indice |
Unità |
Valore |
||
Nome materiale |
Carburo di silicio sinterizzato a reazione |
Carburo di silicio sinterizzato senza pressione |
Carburo di silicio ricristallizzato |
|
Composizione |
RBSiC |
SSic |
R-SiC |
|
Densità apparente |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Resistenza alla flessione |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
Resistenza alla compressione |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Durezza |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Rompere la tenacia |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Conduttività termica |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coefficiente di espansione termica |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Calore specifico |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Temperatura massima in aria |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modulo elastico |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Caratteristiche di Wafer Boat per processo a semiconduttore
Resistenza al calore superiore e uniformità termica
Fine rivestimento in cristallo SiC per una superficie liscia
Elevata durabilità contro la pulizia chimica
Il materiale è progettato in modo che non si verifichino crepe e delaminazioni.