Chucks a vuoto

I manichini del vuoto Semicorex sono la soluzione perfetta per la gestione dei wafer nelle industrie a semiconduttore e di precisione. Con una varietà di opzioni di materiale di base, personalizzazioni della piastra in ceramica e controllo preciso della piattalità, i nostri mandrini del vuoto assicurano una stabilità affidabile del wafer e risultati di processo eccellenti. Progettati per soddisfare le rigorose esigenze della moderna produzione di semiconduttori, questi mandrini offrono prestazioni senza pari, garantendo che i processi rimangano efficienti ed economici.*

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Descrizione del prodotto

I manichini del vuoto Semicorex sono soluzioni ingegnerizzate con precisione progettate per fornire una gestione sicura, stabile ed efficiente dei wafer nei processi di produzione di semiconduttori. Questi Chucks del vuoto sono utilizzati principalmente per trattenere i wafer durante le varie fasi di lavorazione, garantendo danni minimi ai wafer, la massima stabilità e una maggiore efficienza di processo. I nostri Chucks a vuoto sono disponibili in una varietà di materiali di base e piastre di ceramica, offrendo soluzioni su misura per soddisfare le diverse esigenze del settore dei semiconduttori e di altre industrie di precisione.

Caratteristiche chiave e materiali

Semicorex offre una gamma di opzioni di materiale di base per il mandrino del vuoto, consentendo la personalizzazione in base a requisiti specifici dell'applicazione:

Materiali di base:

SUS430: un materiale di base in acciaio inossidabile noto per la sua resistenza e resistenza alla corrosione, fornendo un'eccellente stabilità meccanica.
Alluminio in lega 6061: leggero ma forte, questa base di alluminio offre un'elevata resistenza alla corrosione ed è ideale per le applicazioni in cui il peso è una preoccupazione.
Allumina Ceramic (Alumina al 99%): offre elevata stabilità termica e resistenza all'usura. È una scelta eccellente per ambienti ad alta precisione in cui la resistenza termica è fondamentale.
Granito: noto per la sua rigidità e le proprietà di smorzamento delle vibrazioni superiori, il granito offre un'eccellente stabilità e precisione durante la gestione dei wafer.
Ceramica di carburo di silicio (SIC): offre un'elevata durezza, conducibilità termica e resistenza alla corrosione chimica. È perfetto per ambienti ad alta temperatura e aggressiva.

Piatti in ceramica:

Alumina (Al₂o₃): le piastre di allumina sono note per le loro alte proprietà di isolamento elettrico, resistenza all'usura e stabilità ad alta temperatura. Sono adatti per ambienti in cui sono cruciali contaminazione minima e alte prestazioni.

Il carburo di silicio (SIC): le piastre ceramiche SIC forniscono una durezza eccezionale, un'elevata conducibilità termica e una stabilità a temperature elevate, rendendole ideali per i processi avanzati di manipolazione dei wafer nella produzione di semiconduttori.

Piatteria di precisione e selezione del materiale

La planarità della superficie del mandrino è un fattore critico per garantire una corretta gestione dei wafer e risultati ottimali di processo. La scelta del materiale influisce sulla precisione della planarità, nonché il peso complessivo e le proprietà termiche del mandrino del vuoto.

Precisione del pianezza:

Alluminio in lega 6061: fornisce un'eccellente planarità con precisione, rendendola una scelta popolare per compiti di gestione dei wafer meno impegnativi.

SUS430: pur offrendo una solida stabilità meccanica, SUS430 ha una precisione di planarità leggermente inferiore rispetto alla lega di alluminio.

Allumina Ceramic (Alumina al 99%): offre la migliore precisione della planarità a causa della sua stabilità dimensionale ad alta temperatura e stress meccanici.

Granito: noto per la sua stabilità, il granito fornisce planarità precisa, in particolare in ambienti sensibili alle vibrazioni.

Ceramica in carburo di silicio: fornisce una precisione di planarità eccezionale ed è ideale per la gestione dei wafer ad alta precisione in applicazioni ad alta temperatura.

Considerazioni sul peso

Il peso del mandrino del vuoto è un altro fattore importante, in particolare per le applicazioni in cui la facilità di manipolazione e manipolazione del Chuck è una considerazione chiave.

Lega di alluminio 6061: il materiale più leggero, rendendolo ideale per le applicazioni che richiedono un peso ridotto senza sacrificare la resistenza.

Granito: più pesante dell'alluminio, il peso del granito fornisce ulteriore stabilità, specialmente nei processi in cui lo smorzamento delle vibrazioni è cruciale.

Ceramica in carburo di silicio (SIC): sebbene più pesante dell'alluminio, l'eccezionale resistenza e la stabilità termica di SIC lo rendono il materiale preferito per applicazioni esigenti.

Ceramica di allumina (alumina al 99%): simile in peso al granito, l'allumina fornisce un equilibrio di stabilità, peso e resistenza ad alta temperatura.

Opzioni di personalizzazione

I nostri mandrini del vuoto possono essere adattati a vari pori di dimensioni nelle piastre di ceramica per soddisfare le esigenze di applicazione specifiche. Le piastre di ceramica possono anche essere personalizzate con colori diversi, consentendo una facile identificazione di diversi mandrini utilizzati in vari processi.

Applicazioni

I manichini del vuoto Semicorex sono strumenti indispensabili in una vasta gamma di processi di produzione di semiconduttori, tra cui:

Gestione dei wafer: garantire wafer durante vari processi come l'attacco, la deposizione e il test.
Produzione di precisione: ideale per le industrie che richiedono un wafer stabile e privo di contaminazione con danni minimi a materiali delicati.
Processi ad alta temperatura: particolarmente vantaggiosi per i processi ad alta temperatura in cui materiali come SIC e allumina sono fondamentali per la loro stabilità termica.

I Chucks a vuoto Semicorex sono progettati per precisione, durata e versatilità. Offriamo una selezione di materiali di base di alta qualità abbinati a piastre ceramiche personalizzabili, che ci consentono di creare soluzioni su misura per vari processi di produzione. Sia che tu abbia bisogno di wafer o materiali leggeri e ad alta precisione in grado di resistere a temperature estreme, i nostri mandrini del vuoto offrono l'affidabilità e le prestazioni di cui hai bisogno. Scegliendo Semicorex, stai investendo in un prodotto ad alte prestazioni supportato da un'eccezionale competenza ingegneristica e manifatturiera.

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