Supporto per wafer di silicio

Semicorex fornisce ceramica per semiconduttori per i tuoi strumenti di semifabbricazione OEM e componenti per la gestione dei wafer concentrandosi sugli strati di carburo di silicio nelle industrie dei semiconduttori. Da molti anni siamo produttori e fornitori di supporti per wafer di silicio. Il nostro supporto per wafer di silicio ha un buon vantaggio di prezzo e copre la maggior parte dei mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

I processi di deposizione dei semiconduttori utilizzano una combinazione di gas precursori volatili, plasma e alta temperatura per stratificare pellicole sottili di alta qualità sui wafer. Le camere di deposizione e gli strumenti per la gestione dei wafer necessitano di componenti ceramici durevoli per resistere a questi ambienti difficili.
Il supporto per wafer di silicio Semicorex è un carburo di silicio di elevata purezza, che presenta elevate proprietà di resistenza alla corrosione e al calore, nonché un'eccellente conduttività termica.

Parametri del supporto per wafer di silicio

Proprietà tecniche
Indice	Unità	Valore
Nome del materiale		Carburo di silicio sinterizzato a reazione	Carburo di silicio sinterizzato senza pressione	Carburo di silicio ricristallizzato
Composizione		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densità apparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistenza alla flessione	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Resistenza alla compressione	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	>600
Durezza	Pulsante	2700	2800	/
Tenacia di rottura	MPa·m1/2	4.5	4	/
Conducibilità termica	W/m.k	95	120	23
Coefficiente di dilatazione termica	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Calore specifico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura massima nell'aria	℃	1200	1500	1600
Modulo elastico	GP	360	410	240

La differenza tra SSiC e RBSiC:

1. Il processo di sinterizzazione è diverso. L'RBSiC consiste nell'infiltrare il Si libero nel carburo di silicio a bassa temperatura, l'SSiC si forma per ritiro naturale a 2100 gradi.

2. Gli SSiC hanno una superficie più liscia, una densità più elevata e una resistenza più elevata. Per alcune guarnizioni con requisiti superficiali più severi, l'SSiC sarà migliore.

3. Tempo di utilizzo diverso a PH e temperature diversi, SSiC è più lungo di RBSiC

Caratteristiche del supporto per wafer di silicio

Grafite rivestita in SiC ad elevata purezza
Resistenza al calore e uniformità termica superiori
Rivestimento in cristallo SiC fine per una superficie liscia
Elevata resistenza alla pulizia chimica
Il materiale è progettato in modo tale che non si verifichino crepe e delaminazioni.

Forme disponibili di ceramica al carburo di silicio:

● Asta in ceramica/perno in ceramica/pistone in ceramica

● Tubo in ceramica/boccola in ceramica/manicotto in ceramica

● Anello in ceramica/rondella in ceramica/distanziatore in ceramica

● Disco ceramico

● Piatto in ceramica/blocco in ceramica

● Sfera in ceramica

● Pistone in ceramica

● Ugello in ceramica

● Crogiolo ceramico

● Altre parti in ceramica personalizzate