Barca wafer al carburo di silicio

Semicorex progetta ceramiche di grado semiconduttore per i tuoi strumenti di semi-fabbricazione OEM e componenti per la gestione dei wafer. La nostra barca per wafer in carburo di silicio ha un buon vantaggio di prezzo e copre molti dei mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

La barca wafer in carburo di silicio di Semicorex, caratterizzata da una purezza estremamente elevata (fino al 99,99%), un'eccellente resistenza al plasma e al calore e una presenza limitata di particelle, viene utilizzata nelle parti di apparecchiature per la lavorazione dei semiconduttori, inclusi componenti strutturali e strumenti.
In Semicorex, ci concentriamo sulla fornitura di wafer boat in carburo di silicio di alta qualità e convenienti, diamo la priorità alla soddisfazione del cliente e forniamo soluzioni convenienti. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di alta qualità e un servizio clienti eccezionale.
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Parametri della barca wafer al carburo di silicio

Proprietà tecniche
Indice	Unità	Valore
Nome materiale		Carburo di silicio sinterizzato a reazione	Carburo di silicio sinterizzato senza pressione	Carburo di silicio ricristallizzato
Composizione		RBSiC	SSic	R-SiC
Densità apparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistenza alla flessione	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Resistenza alla compressione	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Durezza	Knoop	2700	2800	/
Rompere la tenacia	MPa m1/2	4.5	4	/
Conduttività termica	W/m.k	95	120	23
Coefficiente di espansione termica	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Calore specifico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura massima in aria	℃	1200	1500	1600
Modulo elastico	Gpa	360	410	240

La differenza tra SSiC e RBSiC:

1. Il processo di sinterizzazione è diverso. RBSiC consiste nell'infiltrare Si libero nel carburo di silicio a bassa temperatura, SSiC si forma per restringimento naturale a 2100 gradi.

2. SSiC ha una superficie più liscia, maggiore densità e maggiore resistenza, per alcune guarnizioni con requisiti di superficie più severi, SSiC sarà migliore.

3. Tempo di utilizzo diverso a PH e temperatura diversi, SSiC è più lungo di RBSiC

Caratteristiche della barca wafer al carburo di silicio

Resistenza al calore superiore e uniformità termica
Fine rivestimento in cristallo SiC per una superficie liscia
Elevata durabilità contro la pulizia chimica
Il materiale è progettato in modo che non si verifichino crepe e delaminazioni.