Chuck sottovuoto in carburo di silicio

Il manico a vuoto in carburo di silicio Semicorex è una parte importante della produzione di semiconduttori per i processi che necessitano di alta precisione e bassa contaminazione. I Chucks a vuoto sono fabbricati con ceramiche in carburo di silicio poroso di alta purezza e forniscono un'eccellente resistenza meccanica, conducibilità termica e inerzia chimica e presenta una struttura dei pori con precisione controllata per la conservazione del vuoto affidabile. Il chuck sottovuoto in carburo di silicio è un dispositivo di adsorbimento funzionale realizzato con materiale ceramico in carburo di silicio (SIC), che si basa sulla pressione negativa del vuoto, sull'adsorbimento elettrostatico o sul blocco meccanico per fornire una presa stabile del braccio di lavoro. I mandrini del vuoto hanno utilizzato semiconduttori, fotovoltaici, produzione precisa e altre applicazioni che hanno richieste straordinariamente elevate di resistenza al materiale ad alta temperatura, resistenza all'usura e pulizia.

La base delmandrinoè un materiale SIC poroso, che ha una permeance d'aria prevedibile sulla sua superficie. Ciò significa che è possibile adsorbire in sicurezza un wafer senza serraggio meccanico e quindi immaterializzare il potenziale di danno fisico o contaminazione del campione. La porosità del materiale è strettamente controllata, in genere con una porosità del 35-40% - per fornire un'adeguata distribuzione del vuoto, ma anche soddisfare i requisiti strutturali per il ciclo termico e meccanico durevole.

Wafer Chucksdi solito sono fatti di una superficie dura con molti piccoli fori o canali sulla superficie. Attraverso questi piccoli fori, il mandrino può essere collegato a una pompa a vuoto, che crea un effetto vuoto. Quando il wafer viene posizionato sul mandrino, la pompa del vuoto viene accesa e l'aria viene disegnata attraverso i piccoli fori, creando un vuoto tra il wafer e il mandrino. Questo effetto vuoto crea abbastanza aspirazione per attaccare saldamente il wafer alla superficie del mandrino.

Le superfici in ceramica sono spesso utilizzate in applicazioni che richiedono elevata purezza e stabilità chimica. La ceramica sono materiali prodotti da fusione ad alta temperatura di minerali. In generale, la ceramica sono isolanti elettrici o semiconduttori e hanno un'alta resistenza alla rottura termica, all'erosione e ai danni.

Semicorex costruisce sofferenza sottovuoto in carburo di silicio personalizzato alle specifiche del cliente per cose come dimensioni, porosità, finitura superficiale e motivi per la canalizzazione del vuoto. Come risultato delle nostre capacità di produzione e camera pulita, offriamo il meglio a basso particello e pulizia per soddisfare i requisiti di pulizia di tutti i produttori di fab e attrezzature per semiconduttori.

Possiamo fare un mandrino per un wafer di qualsiasi dimensione, da un wafer da 2 pollici a 12 pollici e adattandosi per integrare il mandrino in una pletora di apparecchiature di elaborazione del wafer. Può essere utilizzato per i processi front-end e/o i processi di back-end, rendendo il vuoto SIC che soffia un mezzo economico, preciso, stabile e senza contaminazione di supporto al wafer nel flusso di lavoro FAB a semiconduttore.

Il Chuck del vuoto in carburo di silicio è uno strumento essenziale nella produzione di semiconduttori di oggi, combinando i migliori materiali e ingegneria. L'affidabilità duratura e aderente attraverso gli estremi termici e chimici lo rende il supporto perfetto nelle applicazioni di processo che includono, diradamento, diradamento, pulizia e RTA. Acquistando il tuo mandrino a vuoto in carburo di silicio attraverso Semicorex, assicurati la migliore purezza del materiale, soluzioni personalizzate e prestazioni affidabili per risultati superiori su tutte le linee di elaborazione del wafer.