Specchi di scansione in carburo di silicio

Gli specchi a scansione in carburo di silicio Semicorex sono la prossima generazione di dispositivi ottici ad alte prestazioni.  Sviluppati per il mondo accelerato della scansione, gli specchi forniscono le funzionalità di sterzo e scansione di ultima generazione di travi per applicazioni che richiedono una velocità molto elevata, un alto grado di stabilità e precisione. Carburo di silicioGli specchi di scansione hanno attributi unici grazie alla loro produzione ceramica avanzata: gli specchi sono molto leggeri, ma hanno buone proprietà meccaniche e termiche. Pertanto, sono considerati ideali per sistemi ottici ad alta precisione in settori come litografia avanzata, osservazione basata su spazio, scansione laser o imaging ad alta velocità/in tempo reale.

Un aspetto chiave della funzionalità degli specchi di scansione in carburo di silicio sta sviluppando una rigidità specifica ottimale che soddisfa i requisiti della scansione ad alte prestazioni.  Il modulo a bassa densità e elevato elastico fornisce un alto livello di rigidità, mantenendo quindi le proprietà strutturali mentre si muove attraverso accelerazioni molto elevate e movimenti dinamici.  Maggiore è la rigidità, minore è la deformazione quando è soggetta a carichi molto alti, garantendo una minore distorsione ottica quando l'imaging richiede un posizionamento preciso ad alte velocità. Negli scanner ad alta frequenza, la rigidità dello specchio migliorerà direttamente la risoluzione e il tempo di assestamento.

Un'altra proprietà specifica è la durezza di SIC.  La durezza è definita come la capacità di un materiale di resistere a danni da superficie, graffi o usura.  L'aumento della durezza significa una lunga vita operativa, anche in condizioni difficili con particelle abrasive e ripetere la pulizia. L'elevata durezza consente inoltre agli specchi di mantenere la loro precisione superficiale su cicli di utilizzo estesi, preservando le prestazioni ottiche e riducendo i requisiti di manutenzione.

La gestione termica è un'altra caratteristica in cui brilla il carburo di silicio. A causa dell'elevata conduttività termica, SIC può dissipare l'accumulo di calore da fasci di laser ad alta potenza o da cambiamenti ambientali termici. Ciò contribuirà a ridurre al minimo i gradienti termici che potrebbero creare deformazioni o disallineamenti specchi, consentendo prestazioni coerenti durante un lungo uso operativo. L'elevata stabilità termica di Vertex SIC riduce al minimo l'espansione/contrazione con le variazioni di temperatura, mantenendo così l'allineamento ottico quando è essenziale la stabilità dimensionale in tutte le condizioni ambientali, che spesso include il lavoro necessario per i telescopi spaziali o i sistemi di litografia a semiconduttore.

Per facilitare le prestazioni e le possibilità attorno alla sua applicazione, sono disponibili molte opzioni di rivestimento superficiale. Ad esempio, l'uso di un rivestimento SIC CVD può migliorare l'uniformità della superficie, la durezza e la meteorobilità. Mentre i rivestimenti in silicio consentono di depositare una migliore interfaccia riflettente per i rivestimenti ottici aggiuntivi, come la superficie dello specchio stesso, e offrono opportunità di ottimizzazione a seconda di specifici intervalli di lunghezza d'onda, livelli di potenza laser e condizioni atmosferiche. È possibile garantire che lo specchio (ad esempio) raggiunga il requisito ottico e di durata specifico della sua applicazione prevista con questi rivestimenti superficiali aggiuntivi.

Un altro vantaggio significativo degli specchi di scansione in carburo di silicio è la personalizzazione, tra cui forma e geometria. Gli specchi possono essere personalizzati per essere superfici piatte, sferiche e asferiche e un'elevata precisione di forma sono generalmente previsti a seconda del design ottico. Incorporando strutture posteriori leggeri, la massa degli specchi può essere ulteriormente ridotta senza alcuna perdita di rigidità, consentendo una scansione più rapida e tempi di reazione del sistema più rapidi. Tutte queste caratteristiche offrono opportunità di modellatura, finitura e rivestimenti individualizzati per ogni specchio a seconda delle esigenze ottiche e meccaniche dell'applicazione.

Gli specchi di scansione in carburo di silicio sono particolarmente vantaggiosi nei sistemi ottici a base di spazio, in cui il risparmio di massa, la rigidità e la stabilità termica aiutano a garantire la sopravvivenza e le prestazioni in orbita. Nella litografia, la stabilità dimensionale e le caratteristiche di alta rigidità degli specchi di scansione SIC forniscono posizioni a livello di nanometro che sono fondamentali per la produzione di semiconduttori. Nei sistemi di scansione laser ad alta potenza, le qualità di dispersione del calore di SIC e la durata di una superficie forniscono stabilità a lungo termine nel tempo e una distorsione minima.

Gli specchi a scansione in carburo di silicio Semicorex forniscono una combinazione imbattibile di costruzione leggera, alta rigidità, alta durezza, alta conducibilità termica e stabilità termica. Le opzioni uniche di forme personalizzabili, finitura superficiale di precisione e rivestimenti innovativi tra cui porte aperte CVD SIC e silicio e aggiungono caratteristiche delle prestazioni e affidabilità per le applicazioni di scansione ottica più esigenti di oggi.