Tubo di processo in carburo di silicio

Il tubo di processo in carburo di silicio Semicorex è un componente cruciale nel campo della produzione di semiconduttori, progettato specificamente per l'uso in forni verticali impiegati in varie applicazioni di lavorazione dei semiconduttori come RTP e diffusione. Questo tubo specializzato svolge un ruolo fondamentale nel facilitare il trattamento termico controllato e preciso dei wafer semiconduttori durante il loro viaggio attraverso processi di fabbricazione critici.

Realizzato in carburo di silicio di elevata purezza, questo tubo di processo in carburo di silicio presenta un'eccezionale conduttività termica, resistenza alle temperature estreme e straordinaria resistenza meccanica. Le sue proprietà uniche del materiale lo rendono la scelta ideale per applicazioni che richiedono temperature elevate e ambienti chimici difficili comunemente incontrati nella lavorazione dei semiconduttori.

Nel forno verticale, il tubo di processo al carburo di silicio fornisce un'atmosfera protettiva e controllata per i wafer semiconduttori mentre vengono sottoposti a processi come RTP. L'RTP prevede cicli rapidi di riscaldamento e raffreddamento essenziali per l'attivazione di droganti, ricottura e altri trattamenti termici cruciali per la fabbricazione di dispositivi a semiconduttore. La natura robusta del tubo di processo in carburo di silicio garantisce longevità e affidabilità in ambienti termici e chimici così esigenti, contribuendo all'efficienza e alla precisione complessive del processo di produzione dei semiconduttori.