Semicorex è il tuo partner per migliorare la lavorazione dei semiconduttori. I nostri rivestimenti in carburo di silicio sono densi, resistenti alle alte temperature e agli agenti chimici e vengono spesso utilizzati nell'intero ciclo di produzione dei semiconduttori, compresa la lavorazione di wafer e wafer semiconduttori e la fabbricazione di semiconduttori.
I componenti ceramici SiC ad elevata purezza sono fondamentali per i processi nel semiconduttore. La nostra offerta spazia da parti di consumo per apparecchiature di lavorazione dei wafer, come barche per wafer in carburo di silicio, pale a sbalzo, tubi, ecc. per epitassia o MOCVD.
Vantaggi per i processi dei semiconduttori
Le fasi di deposizione di film sottili come l'epitassia o MOCVD, o il trattamento dei wafer come l'incisione o l'impianto ionico, devono sopportare temperature elevate e una pulizia chimica aggressiva. Semicorex fornisce una struttura in carburo di silicio (SiC) di elevata purezza che offre una resistenza al calore superiore e una resistenza chimica duratura, uniforme termica per uno spessore e una resistenza costanti dello strato Epi.
Coperchi delle camere →
I coperchi delle camere utilizzati nella crescita dei cristalli e nella lavorazione dei wafer devono resistere alle alte temperature e alla pulizia chimica aggressiva.
Pagaia a sbalzo →
La pala a sbalzo è un componente cruciale utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori, in particolare nei forni a diffusione o LPCVD durante processi come diffusione e RTP.
Tubo di processo →
Process Tube è un componente cruciale, progettato specificamente in varie applicazioni di elaborazione di semiconduttori come RTP e diffusione.
Barche Wafer →
Wafer Boat viene utilizzato nella lavorazione dei semiconduttori, è stato meticolosamente progettato per garantire che i delicati wafer siano tenuti al sicuro durante le fasi critiche della produzione.
Anelli di ingresso →
Anello di ingresso del gas rivestito in SiC mediante attrezzatura MOCVD. La crescita del composto ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi.
Anello di messa a fuoco →
Semicorex fornisce un anello di messa a fuoco rivestito in carburo di silicio che è davvero stabile per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva.
Mandrino per wafer →
I mandrini per wafer sottovuoto in ceramica ultrapiatta Semicorex sono rivestiti in SiC ad elevata purezza nel processo di movimentazione dei wafer.
Semicorex dispone anche di prodotti ceramici in allumina (Al2O3), nitruro di silicio (Si3N4), nitruro di alluminio (AIN), zirconio (ZrO2), ceramica composita, ecc.
Il braccio robotico in ceramica di allumina Semicorex, noto anche come braccio robotico in ceramica per la movimentazione dei wafer o forcella per la movimentazione dei wafer in silicio ceramico, è un componente di apparecchiature a semiconduttore ad alte prestazioni. La sua progettazione tiene conto dei severi requisiti della produzione di semiconduttori. Grazie alla sua resistenza alle alte temperature, all'usura, alla stabilità chimica e alle eccellenti proprietà di isolamento elettrico, il braccio in ceramica di allumina svolge un ruolo insostituibile nell'industria globale della produzione di semiconduttori. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di bracci robotici in ceramica di allumina ad alte prestazioni che fondono la qualità con l'efficienza dei costi.**
Per saperne di piùInvia richiestaLe proprietà avanzate del materiale del tubo del forno a diffusione Semicorex SiC, tra cui elevata resistenza alla flessione, eccezionale resistenza all'ossidazione e alla corrosione, elevata resistenza all'usura, basso coefficiente di attrito, proprietà meccaniche superiori alle alte temperature e purezza ultraelevata, lo rendono indispensabile nell'industria dei semiconduttori , in particolare per applicazioni in forni a diffusione. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di tubi per forni a diffusione SiC ad alte prestazioni che fondono la qualità con l'efficienza dei costi.**
Per saperne di piùInvia richiestaCon proprietà del materiale di alta qualità, Semicorex SiC Diffusion Boat rappresenta una funzionalità ottimale in un ampio spettro di parametri operativi: durezza, resilienza e resistenza termica e chimica, ecc. Questa scelta del materiale è fondamentale per ridurre i rischi di contaminazione, proteggere i wafer e resistere al condizioni impegnative presenti nei processi di fabbricazione dei semiconduttori. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di barche di diffusione SiC ad alte prestazioni che fondono la qualità con l'efficienza dei costi.**
Per saperne di piùInvia richiestaLa piastra di incisione ICP Semicorex è un componente avanzato e ad alte prestazioni progettato specificamente per applicazioni su semiconduttori, realizzato in materiale di carburo di silicio (SiC). Semicorex si impegna a fornire prodotti di qualità a prezzi competitivi, non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina*.
Per saperne di piùInvia richiestaIl riflettore Semicorex SiC è un elemento fondamentale in vari processi di produzione di semiconduttori. Semicorex si impegna a fornire prodotti di qualità a prezzi competitivi, non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina*.
Per saperne di piùInvia richiestaLe piastre di trasferimento di calore ceramiche Semicorex SiC, basate sul SiC come materiale primario, vengono sottoposte a sinterizzazione ad alta temperatura a 2250°C, ottenendo un corpo ceramico denso altamente vetrificato e a porosità zero con un contenuto di SiC ≥ 99,3%. Presentando una resistenza alla flessione di ≥410 MPa e una conduttività termica di 140 W/m.k, queste ceramiche sono gli unici materiali in grado di resistere alla corrosione di acidi forti come l'acido fluoridrico (HF) e l'acido solforico (H2SO4) nell'industria dei semiconduttori. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di piastre di trasferimento di calore in ceramica SiC ad alte prestazioni che fondono la qualità con l'efficienza dei costi. **
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