Semicorex è il tuo partner per migliorare la lavorazione dei semiconduttori. I nostri rivestimenti in carburo di silicio sono densi, resistenti alle alte temperature e agli agenti chimici e vengono spesso utilizzati nell'intero ciclo di produzione dei semiconduttori, compresa la lavorazione di wafer e wafer semiconduttori e la fabbricazione di semiconduttori.
I componenti ceramici SiC ad elevata purezza sono fondamentali per i processi nel semiconduttore. La nostra offerta spazia da parti di consumo per apparecchiature di lavorazione dei wafer, come barche per wafer in carburo di silicio, pale a sbalzo, tubi, ecc. per epitassia o MOCVD.
Vantaggi per i processi dei semiconduttori
Le fasi di deposizione di film sottili come l'epitassia o MOCVD, o il trattamento dei wafer come l'incisione o l'impianto ionico, devono sopportare temperature elevate e una pulizia chimica aggressiva. Semicorex fornisce una struttura in carburo di silicio (SiC) di elevata purezza che offre una resistenza al calore superiore e una resistenza chimica duratura, uniforme termica per uno spessore e una resistenza costanti dello strato Epi.
Coperchi delle camere →
I coperchi delle camere utilizzati nella crescita dei cristalli e nella lavorazione dei wafer devono resistere alle alte temperature e alla pulizia chimica aggressiva.
Pagaia a sbalzo →
La pala a sbalzo è un componente cruciale utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori, in particolare nei forni a diffusione o LPCVD durante processi come diffusione e RTP.
Tubo di processo →
Process Tube è un componente cruciale, progettato specificamente in varie applicazioni di elaborazione di semiconduttori come RTP e diffusione.
Barche Wafer →
Wafer Boat viene utilizzato nella lavorazione dei semiconduttori, è stato meticolosamente progettato per garantire che i delicati wafer siano tenuti al sicuro durante le fasi critiche della produzione.
Anelli di ingresso →
Anello di ingresso del gas rivestito in SiC mediante attrezzatura MOCVD. La crescita del composto ha un'elevata resistenza al calore e alla corrosione, che ha una grande stabilità in ambienti estremi.
Anello di messa a fuoco →
Semicorex fornisce un anello di messa a fuoco rivestito in carburo di silicio che è davvero stabile per RTA, RTP o pulizia chimica aggressiva.
Mandrino per wafer →
I mandrini per wafer sottovuoto in ceramica ultrapiatta Semicorex sono rivestiti in SiC ad elevata purezza nel processo di movimentazione dei wafer.
Semicorex dispone anche di prodotti ceramici in allumina (Al2O3), nitruro di silicio (Si3N4), nitruro di alluminio (AIN), zirconio (ZrO2), ceramica composita, ecc.
La pala cantilever Semicorex Custom SiC è diventata un componente indispensabile nel settore fotovoltaico, svolgendo un ruolo fondamentale nella gestione efficiente e precisa dei wafer di silicio durante i processi di diffusione ad alta temperatura. La pala cantilever SiC personalizzata, progettata meticolosamente con ceramica al carburo di silicio (SiC) ad alte prestazioni, offre una miscela unica di proprietà essenziali per mantenere l'integrità del wafer, garantire l'uniformità del processo e massimizzare la produttività negli ambienti esigenti dei forni a diffusione.**
Per saperne di piùInvia richiestaIl cuscinetto Semicorex SiC, con la sua eccezionale durezza, resistenza e inerzia chimica, è emerso come materiale fondamentale per applicazioni ingegneristiche impegnative in diversi settori. Quando incorporato nei cuscinetti, il SiC sblocca un nuovo livello di prestazioni e affidabilità, in particolare in ambienti caratterizzati da temperature estreme, sostanze corrosive e rigorosi requisiti di purezza. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di cuscinetti SiC ad alte prestazioni che fondono la qualità con l'efficienza dei costi.**
Per saperne di piùInvia richiestaL'anello di tenuta in carburo di silicio Semicorex è emerso come una tecnologia abilitante fondamentale nel settore dei semiconduttori, offrendo prestazioni e affidabilità senza pari a fronte di condizioni di processo sempre più impegnative. La loro combinazione unica di proprietà dei materiali li rende ideali per un'ampia gamma di applicazioni, garantendo tempi di attività ottimali delle apparecchiature, cicli di vita prolungati dei componenti e, in definitiva, costi totali di proprietà inferiori. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di anelli di tenuta in carburo di silicio ad alte prestazioni che unisce qualità ed efficienza in termini di costi.**
Per saperne di piùInvia richiestaGli anelli isolanti in nitruro di alluminio Semicorex sono componenti indispensabili nella produzione avanzata di semiconduttori, in particolare nei processi di trattamento termico ad alta frequenza. La loro combinazione unica di stabilità alle alte temperature, proprietà di tenuta superiori, eccezionale conduttività termica e durata intrinseca li rende essenziali per garantire un controllo preciso del processo, rendimenti elevati dei dispositivi e una durata prolungata delle apparecchiature nell'ambiente esigente della fabbricazione di semiconduttori. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di anelli isolanti in nitruro di alluminio ad alte prestazioni che fondono la qualità con l'efficienza dei costi.**
Per saperne di piùInvia richiestaI mandrini elettrostatici in nitruro di alluminio Semicorex offrono un'interessante combinazione di proprietà che li rendono ideali per le esigenti richieste della lavorazione dei wafer semiconduttori. La loro capacità di fornire un bloccaggio sicuro e uniforme dei wafer, un'eccellente gestione termica e resistenza agli ambienti di lavorazione difficili si traduce in prestazioni migliorate del dispositivo, rendimenti più elevati e costi di produzione ridotti. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di mandrini elettrostatici in nitruro di alluminio ad alte prestazioni che fondono la qualità con l'efficienza dei costi.**
Per saperne di piùInvia richiestaI mandrini di ispezione wafer SiC Semicorex sono elementi fondamentali per la produzione avanzata di semiconduttori, poiché soddisfano le crescenti richieste di precisione, pulizia e produttività. Le loro proprietà materiali superiori si traducono in vantaggi tangibili durante tutto il processo di fabbricazione dei wafer, contribuendo in definitiva a rendimenti più elevati, migliori prestazioni dei dispositivi e costi di produzione complessivi inferiori. Noi di Semicorex ci dedichiamo alla produzione e alla fornitura di mandrini di ispezione wafer SiC ad alte prestazioni che fondono la qualità con l'efficienza dei costi.**
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