Barche verticali sic

Le barche verticali SIC Semicorex sono trasportatori di wafer ingegnerizzati, progettati e fabbricati per fornire la massima stabilità termica, meccanica e chimica per la lavorazione dei semiconduttori del forno verticale. Costruito di alta purezzacarburo di silicio, riteniamo che siano il miglior equilibrio di resistenza, durata e pulizia per l'elaborazione termica del wafer molto avanzata, noto come ossidazione, diffusione, LPCVD e ricottura in sistemi di fornace verticali.

Gli ambienti di elaborazione del forno verticali richiedono un sistema di supporto del wafer in grado di resistere a esposizioni ripetute ad alta temperatura, spesso superando i 1.200 ° C e rimangono dimensionalmente stabili senza problemi di contaminazione. Le barche verticali SIC eccellono nella loro robustezza in queste situazioni a causa delle proprietà meccaniche e termiche intrinseche del carburo di silicio ricristallizzato o CVD. Il loro coefficiente di espansione termica estremamente bassa garantisce una deformazione o una distorsione minima a causa del rapido ciclo termico. Inoltre, l'elevata conducibilità termica, offre la massima omogeneità della temperatura locale in tutti i wafer, che è fondamentale per la coerenza da wafer-a-wafer nello spessore dello strato, profili di doping e prestazioni elettriche; Aspetti importanti della produzione ad alto volume nel settore dei semiconduttori.

Rispetto alle tradizionali barche al quarzo, le barche verticali SIC offrono una resistenza meccanica superiore e una durata di servizio estesa. Il quarzo tende a diventare fragile e deviante nel tempo, in particolare nelle chimiche aggressive del forno, portando a costi di sostituzione più elevati e potenziali interruzioni di produzione. Al contrario, il carburo di silicio mantiene la sua integrità anche dopo prolungata esposizione a gas corrosivi come cloro, HCl o ammoniaca, che sono comuni in vari processi di diffusione e LPCVD. La sua eccezionale resistenza all'usura e all'ossidazione riduce notevolmente la generazione di particelle, aiutando a salvaguardare le superfici del wafer dalla contaminazione e dalla formazione di difetti.

Le barche verticali SIC offrono anche un beneficio significativo in termini di elaborazione ultra-pulita. Il materiale SIC ad alta purezza viene elaborato sotto una rigida diligenza per ridurre i metalli di contaminazione di traccia identificabili che possono interferire con le caratteristiche operative dei dispositivi a semiconduttore. Le superfici delle barche verticali SIC sono ben riferite con caratteristiche ad angolo retto che minimizzano la possibilità di perdere micro-particelle. Le superfici SIC sono chimicamente inerte e non reagiscono con i gas di processo e sono quindi meno inclini alla contaminazione. A questo proposito, le barche verticali SIC sono adatte per le operazioni di elaborazione del wafer di linea (BEOL).

Le barche verticali sic offrono anche flessibilità di progettazione. Ogni barca verticale può essere specifica per il design per ospitare più diametri di wafer (wafer da 150 mm, 200 mm o 300 mm) e il numero di slot e la spaziatura possono essere utilizzati per soddisfare i requisiti di processo. La lavorazione di precisione e il controllo dimensionale consentono un adeguato allineamento del wafer e supporto al wafer che minimizza la probabilità di micro-graffi o crepe da sollecitazione durante il carico, l'elaborazione e lo scarico. Inoltre, se per un processo particolare è necessaria un'uniformità di temperatura superiore e / o meno termica, le geometrie ottimizzate e i progetti di slot possono essere incorporati nelle configurazioni di barche verticali sic, senza sacrificare alcuna proprietà meccanica.

Un altro vantaggio è la manutenzione e l'efficienza operativa. La rigida costruzione diSicLe barche verticali riducono il tempo e la frequenza di sostituzione, riducendo così al minimo i tempi di inattività o il costo di proprietà. La resistenza agli shock termici di SIC consente cicli più brevi di riscaldamento e raffreddamento per fornire una produttività più elevata sulle linee di produzione. Anche la manutenzione o la pulizia delle barche verticali sic è molto semplice; Il materiale può sopportare la maggior parte dei processi di pulizia a secco o a secco convenzionali comuni nei fab a semiconduttore come la pulizia chimica con acidi e il forno ad alta temperatura.

In questa moderna era di sofisticata fabbricazione di semiconduttori in cui il miglioramento della resa, il controllo della contaminazione e la stabilità nel processo hanno tutta importanza, le barche verticali sicure offrono un vero vantaggio tecnologico. Si occupano bene delle sfide fisiche e chimiche delle applicazioni di forno verticali e contribuiscono all'ottimizzazione complessiva del processo offrendo integrità del wafer, risultati coerenti e una vita più lunga delle attrezzature.