Tubi sic

I tubi SIC Semicorex sono parti in ceramica per sistemi di fornace a semiconduttore.  Hanno proprietà uniche che includono un'elevata trasmissione termica e una resistenza chimica ad alta temperatura e chimica che è richiesta nelle applicazioni a semiconduttore in cui vi sono condizioni ambientali estreme ad alta temperatura e chimica che sono previste e in cui le proprietà sono desiderabili - durata, efficienza energetica e condizioni di processo uniche - che consentono di essere economici negli ambienti di produzione avanzata.

I tubi SIC Semicorex usano un grano fine di alta purezzacarburo di silicioCiò è prodotto per avere un'eccezionale stabilità meccanica ad alta temperatura a seguito di metodi e tecniche avanzati di sinterizzazione e ricristallizzazione. L'abilitazione del SIC ad alte prestazioni provoca un'eccezionale resistenza meccanica e la ritenzione della stabilità termica ad alte temperature operative. SIC ha una durezza eccezionale che mitiga l'usura o la potenziale deformazione.  Inoltre, gli attributi associati alle proprietà SIC sono coefficienti di espansione termica a basso contenuto di combustibili sono benefici perché limitano lo stress termico in quanto vi saranno requisiti per il ciclo di questo materiale tra il calore operativo alto e basso. In tutte queste considerazioni hanno un'utilità speciale per applicazioni ideali in forni di diffusione, forni di ossidazione e sistemi LPCVD/PECVD per mantenere il massimo delle condizioni di processo stabili sono di beneficio per eliminare o limitare i difetti che sono anche metriche relative a wafer o materiale con condizioni altamente stabili, persino di processo.

Un'altra importante utilità dei tubi SIC è gli alti profili di conduzione termica in condizioni specifiche e i progetti del forno applicabili per produrre alti tassi di conduttiva e, soprattutto, una distribuzione uniforme e costante della temperatura attraverso il processo.  Questo comportamento affidabile consente a Wafer di essere esposti a distribuzioni di temperatura semi-uguali a intervalli di tempo ragionevoli e inoltre per limitare i gradienti termici per mitigare i wafer distorti e/o difetti a fondo piatto migliorando al contempo le condizioni di deposizione di film più uniformi.

La stabilità chimica e la resistenza sono un altro importante fattore di prestazione.  Nei processi a semiconduttore, il tubo del forno è soggetto all'influenza di gas altamente reattivi tra cui ossigeno, idrogeno, ammoniaca e tutti gli alogeni, che possono degradare i materiali convenzionali in modo rapido. La microstruttura densa e non porosa, insieme alla natura chimicamente inerte di SIC, la protegge dall'ossidazione e dalla corrosione, fornendo prestazioni operative e meccaniche nell'ambiente di processo estremo.  La durata dei forni SIC li aiuta a mantenere l'integrità della forma e dell'accuratezza dimensionale per lunghi periodi di tempo, che è importante per il controllo e la stabilità del processo.

I tubi SIC possono essere fabbricati in una vasta gamma di dimensioni e spessori delle pareti, a forma di geometricamente per soddisfare i progetti del forno e le esigenze di processo.  Le caratteristiche di lavorazione esatta di precisione vengono anche mantenute durante la progettazione e la produzione di tubi SIC in modo che le tolleranze operative possano essere strette, con superfici interne lisce e eccellente concentricità per mantenere un equilibrio tra flusso di gas laminare e profili termici uniformi. La lucidatura e i rivestimenti di superficie possono essere forniti come opzioni di trattamento che miglioreranno le prestazioni riducendo la generazione di particelle e migliorando la resistenza alla corrosione.

I tubi SIC hanno chiari vantaggi operativi e di costo rispetto a materiali alternativi come i tubi di quarzo o allumina.  Il costo iniziale per i componenti SIC potrebbe essere leggermente più elevato, ma la durata del prodotto, la riduzione delle rotture e i requisiti di manutenzione più bassi comporta un costo totale di proprietà che sono costi inferiori rispetto ai materiali e ai tubi alternativi.

Per concludere, SemicorexSicI tubi sono l'opzione migliore per le applicazioni del forno a semiconduttore, in quanto forniscono le migliori prestazioni termiche, resistenza meccanica, resistenza chimica e affidabilità per gli ambienti di produzione impegnativi. Questo materiale migliora la stabilità del processo e assiste nel risparmio e nell'efficienza dei costi in fondo alla strada (ovvero un minor consumo di energia). I tubi SIC sono un materiale fondamentale per la moderna fabbricazione di semiconduttori.