Forno a camera orizzontale Sic barche

FORNO DI CAMBERE ORIZZONTICO semicorex Le barche SIC sono una parte altamente ingegnerizzata che tiene e trasporta wafer o substrati mentre sono sottoposti a elaborazione termica ad alta temperatura in un forno a camera orizzontale. La barca di wafer è fatta di SIC ad alta purezza silicio carburo (sic), che fornisce la combinazione unica di resistenza, stabilità termica e elevata resistenza chimica che sono richieste nei processi di ceramica a semiconduttore, fotovoltaici e avanzati. La barca del wafer funge anche da struttura rigida per tenere i wafer in posizione, la stabilità dimensionale e la precisione dei wafer non andranno persi dall'esposizione estesa alle temperature di processo estreme.

Le proprietà superiori del carburo di silicio forniscono alle barche SIC di fornace da camera orizzontale un vantaggio di prestazioni superiori rispetto ai materiali tipici per barche di wafer come quarzo o allumina. Possono resistere meglio a cicli di riscaldamento e raffreddamento a breve durata rari a causa del loro elevato punto di fusione, resistenza alle shock termiche e resistenza meccanica, indipendentemente dalla velocità di riscaldamento e raffreddamento o estremi del ciclo termico. Poiché un forno orizzontale si basa interamente sulla coerenza delle posizioni dei Wafer e sull'esposizione delle condizioni di processo, un corretto allineamento dei wafer prevede una resa e una ripetibilità coerenti. Il basso coefficiente di espansione termica significa che la barca non si distorcerà nella sua vita e fornirà forma e spaziatura trattenute dei wafer.

La struttura a grana fine e densa di SIC ricristallizzato fornisce una notevole resistenza all'ossidazione, alla corrosione e alla contaminazione da gas di processo e sottoprodotti. Ciò rende la barca particolarmente vantaggiosa per i processi in atmosfere aggressive come diffusione, ossidazione, LPCVD e ricottura. L'elevata inerzia chimica di SIC evita le reazioni con le superfici del wafer, preservando così la purezza del prodotto e minimizzando la generazione di particolato nel forno. Le barche SIC possono aiutare i produttori che devono soddisfare rigorose esigenze di pulizia, fornendo ambienti di elaborazione più puliti e una migliore qualità del wafer.

Queste barche possono essere prodotte con varie geometrie complesse e dimensioni specifiche della parte con tecniche di lavorazione e formazione di precisione. I disegni generalmente utilizzano più slot/scanalature parallele per tenere saldamente i wafer in un orientamento orizzontale ed espongono uniformemente l'intera superficie del wafer a condizioni termiche. La spaziatura e gli angoli da slot-slot possono anche essere ottimizzati per adattarsi ai wafer di altri diametri, come 150 mm, 200 mm o 300 mm e il flusso d'aria diretto durante gli effetti di elaborazione pur raggiungendo l'uniformità della temperatura per l'elaborazione.

Non solo le barche SIC della fornace da camera orizzontale possono essere progettate nelle partenze standard, ma possono essere progettate per funzionare con caricatori di wafer automatizzati, con conseguente integrazione senza soluzione di continuità nelle moderne linee di produzione ad alto rendimento. Il design robusto renderà anche le barche meno probabili di scheggiare o rompersi durante la maneggevolezza e ridurre i tempi di inattività e i costi per le sostituzioni.

La conduttività termica dicarburo di silicioRappresenta un altro vantaggio chiave che facilita il trasferimento di calore efficiente tra i wafer e l'ambiente del forno. Il vantaggio è che i produttori sono in grado di raggiungere condizioni di elaborazione più uniformi e abbreviare i tempi di ciclo, il che può aumentare l'efficienza della produzione. Le barche SIC forniscono risultati coerenti e ripetibili se vengono utilizzati per la fabbricazione di wafer a semiconduttore, la produzione di cellule solari o altri materiali avanzati a temperature elevate.

In sintesi, le barche SIC della fornace da camera orizzontale sono un componente chiave per i produttori che desiderano produrre wafer con trasportatori di wafer ad alte prestazioni, durature e resistenti alla contaminazione. Ha una resistenza meccanica, stabilità termica e inerzia chimica che non è equa nelle applicazioni di forni orizzontali. Scegliendo barche in carburo di silicio, gli operatori possono sfruttare un migliore controllo dei processi, rese più elevate e minimizzare le interruzioni operative dovute alla manutenzione. Nel complesso, fornisce produzioni più efficienti ed economiche.