Manipolatore in ceramica di allumina

Manipolatore in ceramica di alluminaè anche chiamato forcella in ceramica di allumina e effettore finale per la gestione dei wafer. È installato sul robot per la movimentazione dei wafer ed equivale alla mano del robot. Viene utilizzato per trasportare, trasportare e posizionare wafer di semiconduttori.Wafer di siliciosono estremamente suscettibili alla contaminazione da altre particelle, quindi vengono generalmente maneggiati in un ambiente sottovuoto per garantirne la pulizia. I manipolatori in ceramica di allumina utilizzano l'aspirazione a pressione negativa per rimuovere i wafer e trasportare i wafer semiconduttori attraverso i movimenti telescopici, rotanti e di sollevamento del braccio. All'interno del manipolatore in ceramica di allumina sono presenti fori per l'aria e scanalature di ventilazione, che possono formare un vuoto durante il pompaggio dell'aria, in modo che i wafer semiconduttori possano essere assorbiti mediante un leggero contatto senza pizzicare o danneggiare i wafer semiconduttori.

È noto che quanto più pura è la composizioneceramica di alluminaè, maggiore sarà la sua forza. I manipolatori in ceramica di allumina Semicorex sono realizzati in ceramica di allumina di elevata purezza. Ciò si traduce in eccezionale resistenza meccanica e durezza. La loro resistenza all'usura supera di gran lunga quella dell'acciaio e dell'acciaio al cromo, consentendo loro di mantenere la precisione della superficie nel tempo in ambienti ad alto attrito, riducendo il rischio di graffi sui wafer e rendendoli ideali per la movimentazione ad alta precisione. Questo manipolatore in ceramica di allumina ha un'elevata resistività. Le sue eccezionali proprietà di isolamento elettrico possono prevenire efficacemente le interferenze elettrostatiche e ridurre il rischio di adsorbimento di particelle per mantenere pulita la superficie del wafer. Inoltre, il processo di produzione dei semiconduttori coinvolge circuiti complessi e ambienti ad alta tensione all'interno dell'apparecchiatura. Il manipolatore in ceramica di allumina ad alta resistenza blocca efficacemente la conduzione di corrente, garantendo la sicurezza elettrica durante la movimentazione dei wafer semiconduttori. Grazie alla resistenza alle alte temperature e alla stabilità termica della ceramica di allumina, il manipolatore si deforma molto poco durante il processo di trattamento termico dei semiconduttori, può posizionare accuratamente i wafer ed evitare deviazioni di precisione causate dalla deformazione termica. Inoltre, questo materiale ha un'eccellente stabilità chimica ed è altamente resistente alla corrosione da parte di acidi, alcali, metalli fusi, ecc. Non è facile reagire con altre sostanze per rilasciare particelle inquinanti e può proteggere efficacemente le parti dei semiconduttori dalla contaminazione chimica.