Ceramica al carburo di siliciole pale vengono generalmente installate vicino all'apertura del forno o alla camera di processo, con un'estremità fissa e l'altra estremità che si estende nel forno o nella camera di processo. Durante la lavorazione operativa, le pale ceramiche in carburo di silicio posizionano con precisione il supporto del wafer che trasporta i wafer nella posizione designata all'interno del forno o della camera di processo. Dopo la lavorazione, le pale a sbalzo recuperano il trasportatore, lo spostano fuori dal forno o dalla camera e lo consegnano al braccio robotico per la fase successiva di movimentazione.

I vantaggi delle palette in ceramica al carburo di silicio Semicorex

1. Proprietà superiori e qualità affidabile

Le palette in ceramica al carburo di silicio Semicorex offrono un'eccellente stabilità alle alte temperature, elevata resistenza, elevata durezza, stabilità chimica e basso coefficiente di espansione termica. Con queste proprietà superiori, le palette in ceramica al carburo di silicio Semicorex possono resistere a lungo a condizioni operative difficili, come temperature elevate, corrosione grave, carichi pesanti e funzionamento meccanico frequente.

2. Supporto e trasporto precisi

Basandosi sulle eccellenti prestazioni di supporto e trasporto, Semicorexpalette in ceramica al carburo di siliciopuò fissare con precisione i supporti dei wafer in posizione per garantire la concentricità dei wafer rispetto ai tubi del forno, riducendo significativamente l'incoerenza del processo causata dallo scuotimento dei wafer e dal disallineamento durante il processo.

3. Funzionamento automatizzato altamente efficiente

Le pale ceramiche in carburo di silicio Semicorex funzionano generalmente in combinazione con sistemi robotizzati di caricamento e movimentazione per ottenere un rapido caricamento e scaricamento dei wafer. Ciò riduce significativamente i cicli di processo nella produzione di semiconduttori e fotovoltaica, migliora l’efficienza produttiva e riduce i costi delle operazioni manuali e i rischi di errore.

Le applicazioni delle palette in ceramica al carburo di silicio Semicorex

1. Produzione di celle fotovoltaiche

Le pale ceramiche in carburo di silicio Semicorex sono adatte ai processi termici delle celle fotovoltaiche, come la diffusione, LPCVD e PECVD delle celle TOPCon e PERC. Raggiungendo l'uniformità e la stabilità del processo, queste pale contribuiscono al miglioramento dell'efficienza di conversione delle celle fotovoltaiche.

2. Produzione di chip semiconduttori

Essendo componenti essenziali di supporto e trasporto, le palette ceramiche in carburo di silicio Semicorex trovano ampia applicazione in processi quali litografia, incisione e deposizione durante la produzione di chip semiconduttori, consentendo un trasferimento costantemente stabile e un posizionamento preciso dei wafer.