Pale a sbalzo in ceramica al carburo di silicio

Semicorexpale a sbalzo in ceramica al carburo di siliciosono prodotti mediante sinterizzazione ad alta temperatura del corpo verde stampato in 3D in un unico passaggio, seguito dal trattamento di rivestimento tramite deposizione chimica di vapore. Durante il funzionamento effettivo, le pale a sbalzo in ceramica al carburo di silicio vengono azionate dai sistemi di automazione meccanica per trasferire in modo fluido e costante i componenti che trasportano i wafer dentro e fuori dalle apparecchiature di trattamento ad alta temperatura (come forni di ossidazione, forni di diffusione, forni CVD, ecc.). Questi componenti in carburo di silicio possono garantire efficacemente la precisione della concentricità tra i wafer e i tubi del forno, garantendo così uniformità e stabilità del processo durante processi critici come diffusione, ossidazione e deposizione di vapori chimici.

Le prestazioni delle pale a sbalzo in ceramica al carburo di silicio Semicorex

1. Prestazioni a basso inquinamento:

Semicorexcarburo di siliciole pale a sbalzo in ceramica, lavorate con un trattamento ad alta precisione, raggiungono standard privi di polvere e particelle. Le loro matrici hanno un contenuto di impurità rigorosamente controllato inferiore a 300 PPM e il contenuto di impurità del rivestimento in carburo di silicio CVD è addirittura inferiore a 5 PPM.

2. Stabilità alle alte temperature:

Grazie all'eccellente resistenza alle alte temperature e alla resistenza agli shock termici del carburo di silicio, le pale a sbalzo in ceramica al carburo di silicio Semicorex possono mantenere a lungo la loro stabilità strutturale a temperature elevate fino a 1250°C, senza deformarsi, ammorbidirsi o subire danni causati dalle alte temperature.

3. Capacità di carico eccezionale:

Le pale a sbalzo in ceramica al carburo di silicio Semicorex offrono un'eccezionale capacità di carico beneficiando del loro design strutturale unico e delle proprietà superiori dei materiali (elevata resistenza meccanica e durezza). Questa eccezionale capacità di carico consente loro di sopportare il peso di grandi lotti di wafer per soddisfare le esigenze della produzione di massa, migliorando efficacemente l'efficienza della lavorazione in batch dei wafer.

4. Notevole resistenza alla corrosione:

Le pale a sbalzo in ceramica al carburo di silicio Semicorex mostrano un'eccellente resistenza alla corrosione all'ossigeno, al cloro e ad altre sostanze corrosive presenti ad alte temperature nei processi di produzione di semiconduttori e fotovoltaici. Queste prestazioni superiori sono fondamentali per garantire il regolare funzionamento dei processi produttivi evitando le perdite e il tempo causati da danni alle pale a sbalzo in ceramica al carburo di silicio.

Il metodo di confezionamento delle pale a sbalzo in ceramica al carburo di silicio Semicorex