Pale a sbalzo in carburo di silicio

Le pale a sbalzo in carburo di silicio Semicorex vengono generalmente utilizzate con imbarcazioni per wafer orizzontali nei forni di lavorazione ad alta temperatura. Possono garantire un trasferimento preciso e regolare delle navicelle wafer all'interno e all'esterno dei tubi del forno, fornendo un forte supporto per la stabilità e la resa della produzione di semiconduttori. Progettate specificatamente per il trattamento dei wafer ad alta temperatura, le pale cantilever in carburo di silicio Semicorex funzionano stabilmente a circa 1250°C in un'atmosfera di lavoro difficile composta da ossigeno (gas di reazione), azoto (gas protettivo) e una piccola quantità di acido cloridrico.

Selezione dei materiali di alto livello

I prodotti premium si basano su materie prime pregiate. Semicorex adotta materie prime in carburo di silicio di elevata purezza per garantire che le nostre pale a sbalzo in carburo di silicio siano di altissima qualità in tutto il settore. Le loro basi sono realizzate in carburo di silicio legato per reazione di alta qualità con un contenuto di impurità controllato inferiore a 100 ppm e le loro superfici sono ricoperte da un rivestimento SiC CVD in cui le impurità sono mantenute al di sotto di 1 ppm. Questo materiale di alto livello per la produzione delle pale a sbalzo in carburo di silicio Semicorex offre le proprietà eccellenti elencate di seguito.

1. Pulizia ultraelevata:Semicorexcarburo di siliciole pale a sbalzo sono caratterizzate da un'elevata purezza e non rilasciano impurità indesiderate durante il funzionamento, eliminando sostanzialmente la contaminazione dei wafer e dei forni di lavorazione.

2. Stabilità termica stabile:Le pale cantilever in carburo di silicio Semicorex funzionano in modo affidabile a 1250°C e sopportano bruschi sbalzi di temperatura durante l'entrata e l'uscita dal forno, esenti da qualsiasi deformazione o fessurazione.

3. Resistenza meccanica superiore:Le palette cantilever in carburo di silicio Semicorex vantano elevata durezza e resistenza e possono sopportare usura e graffi durante frequenti operazioni di spinta e trazione.

4. Resistenza alla corrosione affidabile:Semicorexpale a sbalzo in carburo di siliciopossono resistere alla forte corrosione di alcali e acidi forti grazie alla loro notevole stabilità chimica.

Design accurato e lavorazione di precisione

Semicorexutilizza la tecnologia di stampa 3D integrale per formare palette a sbalzo in carburo di silicio, che le rendono libere da punti di stress deboli sulle articolazioni, offrendo una capacità di carico affidabile durante il funzionamento. Supporta inoltre la personalizzazione completa delle palette cantilever in carburo di silicio. Le pale a sbalzo possono essere personalizzate con precisione in lunghezza, struttura e specifiche dell'interfaccia e sono disponibili per adattarsi perfettamente ai diametri dei tubi del forno, alle dimensioni della navicella wafer, ai sistemi di caricamento automatizzati e ai requisiti di processo specifici.