Boccola in carburo di silicio

Perfette per la litografia di prossima generazione e le applicazioni di gestione dei wafer, le boccole in carburo di silicio ultrapuro Semicorex garantiscono una contaminazione minima e forniscono prestazioni di durata eccezionalmente lunga. I nostri prodotti hanno un buon vantaggio di prezzo e coprono molti mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

La boccola ultrapiatta in carburo di silicio Semicorex è un carburo di silicio sinterizzato di elevata purezza che presenta un'elevata resistenza al calore e alla corrosione e una grande stabilità in ambienti estremi, comprese le alte temperature e le situazioni di lavoro corrosive.
Noi di Semicorex ci concentriamo sulla fornitura di boccole in carburo di silicio di alta qualità ed economicamente vantaggiose, diamo priorità alla soddisfazione del cliente e forniamo soluzioni economicamente vantaggiose. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine, offrendo prodotti di alta qualità e un servizio clienti eccezionale.
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Parametri della boccola in carburo di silicio

Proprietà tecniche
Indice	Unità	Valore
Nome del materiale		Reazione al carburo di silicio sinterizzato	Carburo di silicio sinterizzato senza pressione	Carburo di silicio ricristallizzato
Composizione		RBSiC	SSiC	R-SiC
Densità apparente	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Resistenza alla flessione	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Resistenza alla compressione	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	>600
Durezza	Pulsante	2700	2800	/
Tenacia di rottura	MPa·m1/2	4.5	4	/
Conducibilità termica	W/m.k	95	120	23
Coefficiente di dilatazione termica	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Calore specifico	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Temperatura massima nell'aria	℃	1200	1500	1600
Modulo elastico	GP	360	410	240

La differenza tra SSiC e RBSiC:

1. Il processo di sinterizzazione è diverso. L'RBSiC consiste nell'infiltrare il Si libero nel carburo di silicio a bassa temperatura, l'SSiC si forma per ritiro naturale a 2100 gradi.

2. Gli SSiC hanno una superficie più liscia, una densità più elevata e una resistenza più elevata. Per alcune guarnizioni con requisiti superficiali più severi, l'SSiC sarà migliore.

3. Tempo di utilizzo diverso a PH e temperature diversi, SSiC è più lungo di RBSiC

Caratteristiche della boccola in carburo di silicio

Grafite rivestita in SiC ad elevata purezza
Resistenza al calore e uniformità termica superiori
Rivestimento in cristallo SiC fine per una superficie liscia
Elevata resistenza alla pulizia chimica
Il materiale è progettato in modo tale che non si verifichino crepe e delaminazioni.

Forme disponibili di ceramica al carburo di silicio:

● Asta in ceramica/perno in ceramica/pistone in ceramica

● Tubo in ceramica/boccola in ceramica/manicotto in ceramica

● Anello in ceramica/rondella in ceramica/distanziatore in ceramica

● Disco ceramico

● Piatto in ceramica/blocco in ceramica

● Sfera in ceramica

● Pistone in ceramica

● Ugello in ceramica

● Crogiolo ceramico

● Altre parti in ceramica personalizzate