Barche in carburo di silicio

Le barche in carburo di silicio Semicorex presentano un'eccezionale stabilità termica, consentendo loro di resistere alle temperature estreme richieste per i processi di ossidazione e diffusione. La loro eccellente resistenza agli shock termici riduce al minimo il rischio di crack o deformazioni, garantendo una longevità operativa prolungata. La composizione SIC ad alta densità fornisce una resistenza meccanica superiore, mantenendo l'integrità strutturale anche sotto il ciclo termico continuo. Questa eccezionale resistenza allo stress meccanico riduce la probabilità di contaminazione e rottura del wafer, contribuendo a rese di processo più elevate. Inoltre, le barche SIC possiedono una resistenza chimica eccezionale, rimanendo inerti a gas di processo aggressivi utilizzati nelle fasi di ossidazione e diffusione. Questa caratteristica impedisce reazioni indesiderate che potrebbero compromettere la purezza del wafer e l'efficienza di produzione.

Le barche in carburo di silicio sono utilizzate principalmente nelle forni di ossidazione e diffusione, dove è essenziale un controllo preciso sull'esposizione del wafer a temperature elevate e gas reattivi. Supportano i wafer durante l'ossidazione termica per coltivare strati di biossido di silicio di alta qualità e facilitare il doping uniforme attraverso l'esposizione controllata a gas droganti. Inoltre, forniscono una piattaforma stabile per la ricottura e altri trattamenti ad alta temperatura che richiedono un'esposizione al calore prolungata.

Rispetto alle tradizionali barche di quarzo e grafite, le barche in carburo di silicio offrono durata, longevità e prestazioni senza pari. La loro capacità di resistere a ambienti termici e chimici duri al contempo minimizzando la contaminazione li rende la scelta preferita per la produzione di semiconduttori ad alta precisione. Con particolare attenzione alla qualità e all'innovazione, le nostre barche in carburo di silicio offrono prestazioni superiori, garantendo rese elevate ed efficienti elaborazione dei wafer per i produttori di semiconduttori in tutto il mondo. Sia per le tecnologie di nodo avanzate o per la fabbricazione di semiconduttori legacy, queste barche forniscono una soluzione affidabile per soddisfare severi requisiti del settore.

(1) Trasporto e protezione: le barche in carburo di silicio trasportano materiali a semiconduttore come wafer attraverso le sue staffe o slot interne e utilizzano la resistenza ad alta temperatura e corrosione dei materiali in carburo di silicio per proteggere i wafer dall'ambiente esterno.

(2) Riscaldamento uniforme: la barca in carburo di silicio consente ai wafer all'interno di essere riscaldati uniformemente durante il processo di trattamento termico. Ciò aiuta a garantire che la temperatura e la velocità di reazione di ciascuna parte del wafer rimangono coerenti durante il processo di trattamento termico, migliorando così la resa e la qualità del wafer.

Attualmente ci sono tre tipi principali diceramica in carburo di silicioMateriali: sinterizzazione di reazione, sinterizzazione senza pressione e sinterizzazione di ricristallizzazione. Nella maggior parte delle applicazioni, il carburo di silicio sinterizzato di reazione è un prodotto più adatto ed economico. Le barche SIC ricristallizzate di solito sinterizzato ed elaborano prima diverse parti dell'unità, quindi usa la pasta SI per combinare le parti in una barca ad alta temperatura e infine applicare il rivestimento CVD-SIC (circa 100um). Poiché la ricristallizzazione è porosa, se non esiste un rivestimento SIC, introdurrà anche partiche nel processo di semiconduttore. Questo tipo di barca SIC ricristallizzata con rivestimento CVD-SIC ha il processo di produzione più lungo ed è molto costoso. Rispetto alle barche di grafite rivestite SIC, le barche SIC ricristallizzate rivestite CVD-SIC non hanno problemi di mancata corrispondenza CTE.