Barche per wafer SiC

I wafer boat Semicorex SiC sono componenti avanzati meticolosamente progettati per la produzione di semiconduttori, in particolare nei processi di diffusione e termici. Con il nostro costante impegno nel fornire prodotti della massima qualità a prezzi competitivi, siamo pronti a diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.*

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Descrizione del prodotto

Semicorex SiC Wafer Boat, realizzato in ceramica al carburo di silicio (SiC), è all'avanguardia nel soddisfare le esigenze dell'industria dei semiconduttori offrendo prestazioni senza precedenti in ambienti ad alta temperatura. Mentre l’industria dei semiconduttori spinge incessantemente i confini della microfabbricazione, la domanda di materiali resilienti e robusti diventa fondamentale.

La Wafer Boat SiC svolge un ruolo cruciale nel contenere e supportare più wafer durante processi termici come diffusione, ossidazione e deposizione chimica da vapore (CVD). Questi processi comportano la sottoposizione dei wafer a temperature estremamente elevate, spesso superiori a 1000°C, in un'atmosfera controllata. L'uniformità e la consistenza di questi trattamenti termici sono fondamentali per garantire la qualità e le prestazioni dei dispositivi a semiconduttore fabbricati. La capacità della Wafer Boat SiC di resistere a temperature così elevate senza deformazioni o degradazioni garantisce che i wafer vengano lavorati in modo uniforme, garantendo resa e prestazioni superiori del dispositivo.

L'eccezionale conduttività termica dei wafer boat SiC garantisce una distribuzione uniforme del calore su tutti i wafer, riducendo al minimo il rischio di gradienti di temperatura che potrebbero portare a difetti nei dispositivi a semiconduttore. Inoltre, il basso coefficiente di espansione termica (CTE) del SiC determina un'espansione e una contrazione termica minima durante i cicli di riscaldamento e raffreddamento. Questa stabilità è fondamentale per prevenire stress meccanici e potenziali danni ai wafer, soprattutto con le geometrie dei dispositivi termoretraibili.

Durante i processi termici, i wafer sono esposti a vari gas reattivi che possono interagire con i materiali della wafer boat SiC. L'eccellente resistenza chimica del SiC garantisce che non reagisca con questi gas, prevenendo la contaminazione e garantendo la purezza dei wafer. Ciò è particolarmente cruciale nella produzione di dispositivi semiconduttori avanzati, dove anche tracce di contaminazione possono portare a difetti e ridurre l’affidabilità del dispositivo.