Semicorex fornisce wafer boat, piedistalli e porta wafer personalizzati sia per configurazioni verticali/a colonna che orizzontali. Siamo produttori e fornitori di pellicole di rivestimento in carburo di silicio da molti anni. La nostra SiC Wafer Boat ha un buon vantaggio di prezzo e copre la maggior parte dei mercati europei e americani. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.
Vi presentiamo la nostra barca per wafer SiC di alta qualità, progettata per fornire una soluzione affidabile per la lavorazione dei wafer in vari settori. Questi piedistalli in ceramica sono realizzati utilizzando ceramiche di elevata purezza, che offrono un'eccellente resistenza agli shock termici, all'abrasione e alla corrosione chimica, rendendole ideali per ambienti difficili di lavorazione dei wafer.
Le nostre SiC Wafer Boat sono anche altamente personalizzabili e possiamo lavorare con voi per creare piedistalli personalizzati per soddisfare le vostre specifiche uniche. Siamo orgogliosi della nostra capacità di fornire prodotti affidabili e di alta qualità che soddisfino le esigenze dei nostri clienti. Le nostre barchette in wafer in ceramica sono fatte per durare e offrono una lunga durata, assicurandovi di ottenere il massimo valore dal vostro investimento.
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Parametri di SiC Wafer Boat
Proprietà tecniche |
||||
Indice |
Unità |
Valore |
||
Nome materiale |
Carburo di silicio sinterizzato a reazione |
Carburo di silicio sinterizzato senza pressione |
Carburo di silicio ricristallizzato |
|
Composizione |
RBSiC |
SSic |
R-SiC |
|
Densità apparente |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Resistenza alla flessione |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
Resistenza alla compressione |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Durezza |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Rompere la tenacia |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Conduttività termica |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Coefficiente di espansione termica |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Calore specifico |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Temperatura massima in aria |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modulo elastico |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Caratteristiche di SiC Wafer Boat
- Rivestimenti in carburo di silicio CVD per migliorare la durata.
- Isolamento termico in carbonio rigido purificato ad alte prestazioni.
- Avere un'elevata conducibilità termica ed eccellenti proprietà di distribuzione del calore.
- Rivestimento ceramico e SiC ad alta purezza per resistenza ai fori stenopeici e maggiore durata