I tubi SIC Semicorex sono tubi da forno in carburo di silicio progettati per processi ad alta temperatura a semiconduttore, con eccellente stabilità termica e resistenza alla corrosione chimica. Scegliere materie prime a purezza di semirex, processi di produzione di precisione e garanzie di affidabilità a lungo termine per fornire un solido supporto per il processo di produzione dei semiconduttori.*
I tubi SIC Semicorex (tubi del forno SIC) sono componenti premium fortemente utilizzati nel settore dei semiconduttori a causa della loro stabilità termica ideale, resistenza meccanica e estrema resistenza a sostanze chimiche aggressive su una gamma di applicazioni. I tubi SIC Semicorex sono stati progettati per sopravvivere alle condizioni più difficili associate all'elaborazione ad alta temperatura. I tubi SIC sono chiaramente un materiale preferito e superiore per forni di diffusione, sistemi LPCVD/PECVD e in ambienti utilizzati per la crescita epitassiale in cui la contaminazione del materiale e il differenziale termico sono considerazioni chiave.
I tubi SIC Semicorex sono fabbricati con polveri SIC di purezza ultra-alta che utilizzano metodologie di sinterizzazione avanzate e tecniche di controllo dei processi che preservano la purezza del SiC. Il risultato è che i tubi SIC hanno una conduttività termica ottimale, una bassa caratteristiche di espansione termica e hanno un peso distribuito lungo la lunghezza del tubo, minimizzando efficacemente lo stress termico, anche se esposto a un rapido ciclo termico. Pertanto, l'utilizzo di tubi SIC fornisce rispetto ad alto rispetto durante i processi continui ad alta temperatura (fino a 1600 ° C), garantendo così l'uniformità nei processi di produzione di semiconduttori, migliorando l'efficienza complessiva su scale coerenti.
Il vantaggio principale di SIC è che è chimicamente inerte. SIC è praticamente non poroso (rispettando la classificazione GP-4 ASTM-G654) e insuperabile quando si tratta di gas corrosivi di resistenza e sostanze chimiche reatti Stabilità dimensionale e aumento dei tempi di servizio al minimo i rallentamenti della throughput correlati alle variazioni e alle sostituzioni del tubo. I vantaggi chiave per la produzione di semiconduttori sono chiari; L'uso di tubi SIC può ridurre il costo totale della proprietà in valori di settimane o addirittura mesi mantenendo l'affidabilità in relazione ai processi industriali.
Le provette SiC SIC sono disponibili in molti diametri, lunghezze e specifiche personalizzate per soddisfare diversi progetti di fornace e requisiti di elaborazione. Le superfici interne possono essere lucidate, il che migliora la pulizia, riduce la generazione di particelle ed è un dettaglio importante negli spazi a semiconduttori ultra puliti. L'uso di tubi SIC Semicorex può aiutare a ridurre il rischio di contaminazione e contribuire ad aumentare i rendimenti dei wafer con tolleranze strette e una migliore qualità della superficie.
La competenza SIC di Semicorex include anni di elaborazione in carburo di silicio con particolare attenzione all'ingegneria precisa e al controllo di qualità per soddisfare i rigorosi e impegnativi standard di qualità del settore dei semiconduttori. I nostri tubi sono testati e validati con ispezioni, che sono fondamentali per garantire purezza, densità e prestazioni all'interno degli ambienti termici più estremi. Semicorex fornisce anche supporto tecnico e opzioni di progettazione personalizzate per aiutare a ottimizzare il sistema del forno per applicazioni specifiche.
Che si tratti di manifatturieri logici, dispositivi di alimentazione o optoelettronica, i tubi SIC Semicorex presentano un'opzione affidabile e resistente per l'elaborazione ad alta temperatura. Selezionando Semicorex non si assicura solo l'efficienza, ma un processo stabile ed efficiente per la fabbricazione di semiconduttori.